根據半導體工藝的需要，本文介紹了利用 SEM 分析工藝問題的方法在形成成品之前，特別是工藝設計及加工制造階段的失效分析及可靠性研究，能夠在隱患轉變?yōu)榇竺娣e工藝問題及后期性能參數問題之前，就能夠提早定位并徹底解決，更為今后產品大規(guī)模量產及產品升級換代提供客觀準確的科學依據SEM 是其中的重要技術手段，尤其在線檢測分析更是物盡其用 蔡司SIGMA 500高分辨率場發(fā)射掃描電鏡 蔡司SIGMA 300場發(fā)射掃描電鏡 鎢燈絲系列掃描電鏡 EVO MA 10/LS 10 鎢燈絲系列掃描電鏡 EVO MA 15/LS 15 蔡司（ZEISS） EVO 18鎢燈絲系列掃描電鏡