使用 Agilent 8900 ICP-MS/MS，在多元素 spICP-MS 模式下，對(duì) 1% TMAH 中的多元素納米顆粒進(jìn)行了測(cè)定和表征。對(duì)于半導(dǎo)體級(jí)化學(xué)品中的多元素  NP  分析，MS/MS 方法可實(shí)現(xiàn)低背景、高靈敏度和干擾控制。使用專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的快速多元素納米顆粒分析軟件，在一次樣品采集中獲得  Ag、Al₂O₃、Fe₃O₄、Au 和  SiO₂  NP  的多元素?cái)?shù)據(jù)并組合到一個(gè)結(jié)果表中。該表格提供關(guān)于含各種實(shí)測(cè)元素的納米顆粒的全面信息。結(jié)果表明，在溶液中含有大顆粒（如200 nm SiO₂ NP）的情況下仍可測(cè)量小顆粒（如 30 nm Fe₃O₄NP）。1% TMAH 溶液中的  Al₂O₃和  SiO₂  NP  的粒徑和顆粒濃度在 10 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定不變，而 Fe₃O₄和 Ag NP 的顆粒濃度隨時(shí)間逐漸減小。這一結(jié)果表明，TMAH 溶液中的 Fe₃O₄和 Ag NP 應(yīng)在配制好后盡快測(cè)量。1% TMAH 中 Fe₃O₄ NP 的粒徑穩(wěn)定不變，而 NP 濃度隨時(shí)間的變化還需要進(jìn)一步的研究。本研究表明，利用  spICP-MS  能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)定含有由不同和/或多種元素組成的納米顆粒的樣品。與針對(duì)每種  NP  分別采集數(shù)據(jù)相比，快速多元素納米顆粒分析軟件簡(jiǎn)化了分析方法并將樣品運(yùn)行時(shí)間縮短了  7  分鐘。測(cè)量的元素越多，節(jié)省的時(shí)間也就越多。