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據(jù)SEMI 標(biāo)準(zhǔn) C46-0306,對于25%的TMAH,通常要求其每種污染元素的濃度低于10ppb,甚至有些客戶要求更低實(shí)驗(yàn)表明,DRC ICP-MS非常適合于UPW領(lǐng)域的超低含量(ng/L級)的樣品的常規(guī)定量分析通過計(jì)算機(jī)對標(biāo)準(zhǔn)模式及反應(yīng)模式的切換,使得每次樣品測量干擾降低至Z少 PerkinElmer 等離子質(zhì)譜儀

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