產(chǎn)品特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)： 產(chǎn)品特點(diǎn)：本系統(tǒng)根據(jù)芯片鍵合應(yīng)用的需要進(jìn)行設(shè)計(jì)，細(xì)節(jié)方面更適合于芯片鍵合領(lǐng)域的使用特點(diǎn)。系統(tǒng)已在眾多進(jìn)行微流控芯片研發(fā)生產(chǎn)的科研院所及企業(yè)得到應(yīng)用，技術(shù)成熟，運(yùn)行穩(wěn)定。

PTL真空等離子系統(tǒng)致力于為航空航天、汽車工業(yè)、半導(dǎo)體制造、紡織技術(shù)、電子微電子、生物工程、、塑料橡膠、科研開發(fā)等行業(yè)客戶提供解決方案，以幫助客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率，同時降低對環(huán)境的不良影響。 PTL的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備。采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用先進(jìn)技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。