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分子束外延系統(tǒng)

儀器網(wǎng)>知識(shí)百科>分子束外延系統(tǒng) 更新時(shí)間:2026-04-14 11:30:50

分子束外延系統(tǒng)百科

導(dǎo)讀
分子束外延系統(tǒng)為一種在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用的分析儀器。近十幾年來(lái)在半導(dǎo)體工藝中發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)新技術(shù)包括分子束外延技術(shù),其在超高真空條件下,類似于真空蒸發(fā)鍍把構(gòu)成晶體的各個(gè)組分和予摻雜的原子(分子),通過(guò)一定的熱運(yùn)動(dòng)速度,根據(jù)一定的比例由噴射爐中往基片上噴射去進(jìn)行晶體外延生長(zhǎng)而對(duì)單晶膜進(jìn)行制備的一種方法。簡(jiǎn)稱為MBE法
目錄
1分子束外延系統(tǒng)功能 2分子束外延系統(tǒng)原理 3分子束外延系統(tǒng)影響因素 4分子束外延系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 5分子束外延系統(tǒng)定義 6分子束外延系統(tǒng)發(fā)展 7分子束外延系統(tǒng)特點(diǎn)

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技術(shù)資料

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