分子束外延系統(tǒng)為一種在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用的分析儀器。

近十幾年來在半導(dǎo)體工藝中發(fā)展起來的一項(xiàng)新技術(shù)包括分子束外延技術(shù)，其在超高真空條件下，類似于真空蒸發(fā)鍍把構(gòu)成晶體的各個(gè)組分和予摻雜的原子(分子)，通過一定的熱運(yùn)動(dòng)速度，根據(jù)一定的比例由噴射爐中往基片上噴射去進(jìn)行晶體外延生長而對(duì)單晶膜進(jìn)行制備的一種方法。簡稱為MBE法。

分子束外延為一種物理沉積單晶薄膜方法。高溫蒸發(fā)、輝光放電離子化、氣體裂解，電子束加熱蒸發(fā)等方法在超高真空腔內(nèi)為源材料所采用，使得分子束流產(chǎn)生。入射分子束與襯底對(duì)能量進(jìn)行交換以后，通過表面吸附、遷移、成核、生長成膜。多種監(jiān)控設(shè)備為生長系統(tǒng)所配備，能夠瞬時(shí)測量分析生長過程中襯底溫度，生長速度，膜厚等。能夠精確地監(jiān)控對(duì)表面凹凸、起伏、原子覆蓋度、黏附系數(shù)、蒸發(fā)系數(shù)及表面擴(kuò)散距離等生長細(xì)節(jié)。因?yàn)镸BE有著潔凈的生長環(huán)境，有著較低的溫度，精確的原位實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)為其所具有，晶體有著較好的完整性，有著均勻準(zhǔn)確的組分與厚度，作為光電薄膜，半導(dǎo)體薄膜生長工具非常良好。

分子束外延系統(tǒng)特點(diǎn)

1、不是在熱平衡條件下進(jìn)行MBE生長，為一個(gè)動(dòng)力學(xué)過程，多以通常熱平衡生長難以得到的晶體能夠生長。

2、生長過程中，真空中有表面，通過附設(shè)的設(shè)備能夠?qū)ιL過程、組分、表面狀態(tài)等進(jìn)行原位（即時(shí)）觀測，分析、研究。