ICP-MS全稱(chēng)是電感藕合等離子體質(zhì)譜，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個(gè)電子而形成了一價(jià)正離子。

ICP-MS的供電線路要符合儀器的要求

　　為了保證ICP-MS的安全運(yùn)行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運(yùn)行時(shí)線路的電壓降過(guò)大，影響ICP-MS壽命。作為一臺(tái)精密測(cè)量?jī)x器，它還需要有相對(duì)穩(wěn)定的電源，供電電壓的變化一般不超過(guò)5%，如超過(guò)這個(gè)范圍，需要使用自動(dòng)調(diào)壓器或磁飽和穩(wěn)壓器，不能使用電子穩(wěn)壓器，由于電子穩(wěn)壓器在電壓高時(shí)產(chǎn)生削波，造成電脈沖，影響電子計(jì)算機(jī)、微處理器及相敏放大器的工作，引起誤動(dòng)作。

　　連續(xù)正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作，ICP-MS供電線路Z好單獨(dú)從供電變壓器的配電盤(pán)上得到，盡量不與大電機(jī)，大的通風(fēng)機(jī)，空調(diào)機(jī)，馬弗爐等大的用電設(shè)備共用一條供電線路，以免在這些用電設(shè)備起動(dòng)時(shí)，供電線路的電壓大幅度的波動(dòng)，造成ICP-MS工作不穩(wěn)定。允許電流大于30安培的ICP-MS要單獨(dú)接地。一般光譜儀地線電阻要小于5歐姆，計(jì)算機(jī)地線電阻要小于0.25歐姆(ASTM)標(biāo)準(zhǔn)，以防相互干擾。

　　在ICP-MS的使用中，應(yīng)經(jīng)常注意電源的變化，不能長(zhǎng)期在過(guò)壓或欠壓下工作，當(dāng)ICP-MS在過(guò)壓下工作會(huì)造成高頗發(fā)生器功率大管燈絲過(guò)度的蒸發(fā)和老化，電子管的壽命將會(huì)大大的縮短。如果在欠壓下工作，電子管燈絲溫度過(guò)低，電子發(fā)射不好，也容易造成電子發(fā)射材料過(guò)早老化，同樣也縮短電子管的壽命;ICP-MS運(yùn)行中供電電壓的較大波動(dòng)同樣也會(huì)造成高頻發(fā)生器輸出功率的不穩(wěn)定，對(duì)測(cè)定結(jié)果的好壞影響極大，因此，應(yīng)當(dāng)注意供電電源的質(zhì)量。

ICP-MS需要防塵

　　當(dāng)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)需要采用排風(fēng)機(jī)，排除ICP-MS的熱量及工作時(shí)產(chǎn)生的有毒氣體時(shí)，實(shí)驗(yàn)室與外部就形成壓力差，實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生負(fù)壓，室外含有大量灰塵的空氣從門(mén)窗的縫隙中流入室內(nèi)，大量積聚在ICP-MS的各個(gè)部位上，容易造成高壓元件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障。

　　對(duì)于ICP-MS除塵，一般由電子，儀修或計(jì)算機(jī)的專(zhuān)業(yè)人員幫助，ICP-MS使用或管理人員如不懂電子知識(shí)，不了解ICP-MS結(jié)構(gòu)，不要輕易去動(dòng)，以免發(fā)生意外，除塵應(yīng)事先停機(jī)并關(guān)掉供電電源下進(jìn)行。

ICP-MS對(duì)氣體控制系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)

　　ICP-MS的氣體控制系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常地運(yùn)行，直接影響到ICP-MS測(cè)定數(shù)據(jù)的好壞，如果氣路中有水珠、機(jī)械雜物雜屑等都會(huì)造成氣流不穩(wěn)定，因此，對(duì)氣體控制系統(tǒng)要經(jīng)常進(jìn)行檢查和維護(hù)。

　　首先要做氣體試驗(yàn)，打開(kāi)ICP-MS氣體控制系統(tǒng)的電源開(kāi)關(guān)，使電磁閥處于工作狀態(tài)，然后開(kāi)啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關(guān)閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應(yīng)在幾個(gè)小時(shí)內(nèi)沒(méi)有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現(xiàn)象，需要檢查和排除。

　　其次，由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質(zhì)，管道和接頭中也會(huì)有一些機(jī)械碎屑脫落，造成氣路不暢通。因此，需要定期進(jìn)行清理，拔下某些區(qū)段管道，然后打開(kāi)氣瓶，短促地放一段時(shí)間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。ICP-MS在安裝氣體管道，特別是將載氣管路接在霧化器上時(shí)，要注意不要讓管子彎曲太厲害，否則載氣流量不穩(wěn)而造成脈動(dòng)，影響測(cè)定。

ICP-MS對(duì)進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管的維護(hù)

　　ICP-MS霧化器是進(jìn)樣系統(tǒng)中Z精密，Z關(guān)鍵的部份，需要很好的維護(hù)和使用。要定期的清理，特別是測(cè)定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管?chē)娮鞎?huì)積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來(lái)的是測(cè)定強(qiáng)度下降，ICP-MS反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會(huì)影響點(diǎn)燃等離子體焰炬和保持穩(wěn)定，也影響反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，Z后，用無(wú)水乙醇洗并吹干，經(jīng)常保持進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管的清潔。

ICP-MS使用中盡量減少開(kāi)停機(jī)的次數(shù)

　　開(kāi)機(jī)測(cè)定前，必須做好安排，事先標(biāo)好各項(xiàng)準(zhǔn)備工作，切忌在同一段時(shí)間里開(kāi)開(kāi)停停，ICP-MS頻繁開(kāi)啟容易造成損壞，這是因?yàn)镮CP-MS在每次開(kāi)啟的時(shí)候，瞬時(shí)電流大大高于運(yùn)行正常時(shí)的電流，瞬時(shí)的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過(guò)早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開(kāi)機(jī)就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關(guān)停機(jī)。