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掃描電子顯微鏡的主要性能
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本文由 上海西努光學(xué)科技有限公司 整理匯編
2019-01-02 15:49 1058閱讀次數(shù)
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掃描電子顯微鏡是高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡用于材料領(lǐng)域,用于生命科學(xué)領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高低真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線分析技術(shù)。革命性的的設(shè)計(jì)，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時(shí)還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的GX率無(wú)油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無(wú)污染(免維護(hù))成像分析。
掃描電子顯微鏡廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，掃描電子顯微鏡快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。
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掃描電子顯微鏡的主要性能- 掃描電子顯微鏡是高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡用于材料領(lǐng)域,用于生命科學(xué)領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高低真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線分析技術(shù)。革命性的的設(shè)計(jì)，確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時(shí)還可以進(jìn)行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的GX率無(wú)油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無(wú)污染(免維護(hù))成像分析。
掃描電子顯微鏡廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，掃描電子顯微鏡快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。[詳細(xì)]
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2019-01-02 15:49
課件
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掃描電子顯微鏡的應(yīng)用- 掃描電子顯微鏡的應(yīng)用[詳細(xì)]
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2010-07-20 00:00
操作手冊(cè)
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- 臺(tái)式掃描電子顯微鏡
- 臺(tái)式掃描電子顯微鏡[詳細(xì)]
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2012-07-27 00:00
課件
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- 蔡司 EVO掃描電子顯微鏡
- 蔡司 EVO掃描電子顯微鏡[詳細(xì)]
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2025-07-23 14:50
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 掃描電子顯微鏡的工作原理講解
- 工作原理：
掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5 nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號(hào)電子。這些信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過(guò)電信號(hào)放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。
試樣可為塊狀或粉末顆粒，成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號(hào)。由電子槍發(fā)射的能量為5～35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級(jí)聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下，于試樣表面按一定時(shí)間、空間順序做柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其他物理信號(hào))，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，掃描電子顯微鏡得到反應(yīng)試樣表面形貌的二次電子像。[詳細(xì)]
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2019-02-22 09:08
課件
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- 日立掃描電子顯微鏡的現(xiàn)狀分析
- 日立掃描電子顯微鏡是一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，采用冷陰極場(chǎng)發(fā)射槍、高真空和精密的數(shù)字技術(shù)，可進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的高分辨率、高質(zhì)量成像。本系統(tǒng)裝配錐形場(chǎng)發(fā)射槍和物鏡，可以在任何掃描速度下進(jìn)行高分辨率的成像以及高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像顯示，使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像，可以處理直徑Zda為8英寸的樣品。
日立掃描電子顯微鏡是智能計(jì)算機(jī)掃描電子顯微鏡，保證了與未來(lái)計(jì)算機(jī)技術(shù)的兼容性。它的圖形用戶界面可以控制條件設(shè)置、樣品臺(tái)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、成像和數(shù)據(jù)存檔，確保操作穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)的主計(jì)算機(jī)采用了高級(jí)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的Window? 2000，方便于從成像到數(shù)據(jù)處理的整個(gè)過(guò)程，使操作人員可以顯示實(shí)時(shí)圖像、通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)保存到外接電腦、檢索和管理數(shù)據(jù)。[詳細(xì)]
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2019-04-09 09:08
課件
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- 環(huán)境掃描電子顯微鏡的成像特點(diǎn)
- 環(huán)境掃描電子顯微鏡的成像特點(diǎn)[詳細(xì)]
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2024-09-20 13:31
標(biāo)準(zhǔn)
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- 掃描電子顯微鏡圖像系統(tǒng)改造方法
- 掃描電子顯微鏡圖像系統(tǒng)改造方法[詳細(xì)]
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2009-07-19 00:00
選購(gòu)指南
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- 臺(tái)式掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)
- 臺(tái)式掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2016-10-19 17:10
操作手冊(cè)
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- FEI Quanta 系列掃描電子顯微鏡
- FEI Quanta 系列掃描電子顯微鏡[詳細(xì)]
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2025-08-04 10:22
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 日立 SU3500 掃描電子顯微鏡SEM
- 日立 SU3500 掃描電子顯微鏡SEM[詳細(xì)]
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2025-07-31 16:40
產(chǎn)品樣冊(cè)
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- 有序多孔膜的掃描電子顯微鏡觀察
- 有序多孔膜的掃描電子顯微鏡觀察[詳細(xì)]
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2015-08-19 00:00
操作手冊(cè)
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- 掃描電子顯微鏡的功能及用途說(shuō)明
- 掃描電子顯微鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等，對(duì)于導(dǎo)電材料，可直接放入樣品室進(jìn)行分析，對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。
具體功能用途歸納如下：
1、掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像-形貌分析(表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸)；
2、顯示化學(xué)成分的空間變化，基于化學(xué)成分的相鑒定-化學(xué)成分像分布，微區(qū)化學(xué)成分分析；
3、利用背散射電子衍射信號(hào)對(duì)樣品物質(zhì)進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。
4、掃描電子顯微鏡在半導(dǎo)體器件研究中的特殊應(yīng)用：
1)利用電子束感生電流進(jìn)行成像，可以用來(lái)進(jìn)行集成電路中的定位和損傷研究。
2)利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來(lái)檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測(cè)試圖形和薄膜電阻的導(dǎo)電形式。
3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面[詳細(xì)]
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2020-04-26 09:46
標(biāo)準(zhǔn)
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- FEI Q45掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)
- FEI Q45掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2016-10-18 14:39
實(shí)驗(yàn)操作
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- KYKY-EM6900系列掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)
- KYKY-EM6900系列掃描電子顯微鏡產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
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2016-10-19 17:54
選購(gòu)指南
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- 日立高新掃描電子顯微鏡SU1510樣本
- 日立高新掃描電子顯微鏡SU1510樣本[詳細(xì)]
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2014-09-03 00:00
應(yīng)用文章
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- 日立高新掃描電子顯微鏡S-3700N樣本
- 日立高新掃描電子顯微鏡S-3700N樣本[詳細(xì)]
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2014-09-03 00:00
課件
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- 日立高新掃描電子顯微鏡S-3400N樣本
- 日立高新掃描電子顯微鏡S-3400N樣本[詳細(xì)]
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2024-09-20 13:27
操作手冊(cè)
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- 國(guó)儀量子掃描電子顯微鏡SEM3000S
- 國(guó)儀量子掃描電子顯微鏡SEM3000S[詳細(xì)]
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2024-09-11 17:59
產(chǎn)品樣冊(cè)
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