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掃描電子顯微鏡的功能及用途說明

本文由 上海西努光學科技有限公司 整理匯編

2020-04-26 09:46 1021閱讀次數(shù)

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 掃描電子顯微鏡主要由七大系統(tǒng)組成,即電子光學系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。制樣簡單、放大倍數(shù)可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等,對于導電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
  具體功能用途歸納如下:
  1、掃描電鏡追求固體物質高分辨的形貌,形態(tài)圖像-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸);
  2、顯示化學成分的空間變化,基于化學成分的相鑒定-化學成分像分布,微區(qū)化學成分分析;
  3、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式),晶體取向分布分析,基于晶體結構的相鑒定。
  4、掃描電子顯微鏡在半導體器件研究中的特殊應用:
  1)利用電子束感生電流進行成像,可以用來進行集成電路中的定位和損傷研究。
  2)利用樣品電流成像,結果可顯示電路中金屬層的開、短路,因此電阻襯度像經(jīng)常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。
  3)利用二次電子電位反差像,反映了樣品表面的電位,從它上面可以看出樣品表面

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