雖然光譜儀本身具有很高的測量精度，但在測量樣品中元素含量時，得到的結果往往與真實含量不符，存在一定的誤差，而且由于多種因素的影響，有些材料本身的含量很低。引起儀器檢測誤差的主要因素可分為以下幾類：

　　系統(tǒng)誤差來源

　　當標準品和樣品的含量和化學成分不完全相同時，基體線和分析線的強度可能會發(fā)生變化，從而引入誤差。為了消除系統(tǒng)誤差，必須嚴格遵守標準樣品制備要求。為了檢查系統(tǒng)誤差，需要對多種校對結果進行化學分析。

　　當澆注狀態(tài)下的鋼樣與退火、淬火、回火、熱軋、鍛造狀態(tài)下的類鋼金屬結構不同時，測量數(shù)據(jù)可能不同。未知元素譜線的重疊干涉。例如，在冶煉過程中添加脫氧劑或除硫劑時，混合未知合金元素，并引入系統(tǒng)誤差。當標準物和樣品的物理性質不一致時，激發(fā)的特征線就會不同，從而引起系統(tǒng)誤差。

　　偶然誤差源

　　與樣品成分不均勻有關的誤差。由于光電光譜分析所消耗的樣品量很小，樣品中元素分布不均勻，結構不均勻，導致不同部位分析結果不同，偶爾出現(xiàn)誤差。主要原因如下：

　　在冶煉過程中引入夾雜物，產生偏析，導致樣品元素分布不均。樣品的缺陷、氣孔、裂紋、氣泡等。磨樣線、磨樣過熱、磨樣面放置時間過長及指紋等因素。為了減少偶然誤差，需要仔細取樣以消除樣品不均勻性和鑄造缺陷，并且可以重復多次分析以減少分析誤差。

　　其他因素誤差

　　室溫升高會增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比。濕度很可能引起高壓元件的泄漏和放電，使分析結果不穩(wěn)定。氬不純凈。當氬中含有氧和水蒸氣時，激發(fā)點會惡化。如果氬氣管道和電極夾持器不放電，分析結果會更差。