JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜，此外在電子束熔煉時，可用于高熔點金屬錠的生產(chǎn)及提純。

BS-80020CPPS是用于輔助低溫（100℃以下等）下塑料基板和膠片成膜的等離子體源。

是濺射、刻蝕、CVD、離子鍍等薄膜制備/加工使用的、用于生成等離子體的13.56MHz高頻電源（RF電源）。

和產(chǎn)生等離子體的13.56MHz高頻電源組合，與負載進行匹配的自動調(diào)整裝置 (匹配箱 + 控制器) 。

晶振膜厚控制儀的傳感器，可裝載6個或12個晶振片 。

通過高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬度的熱等離子體，經(jīng)過物理/化學(xué)反應(yīng)過程，能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。

根據(jù)原料可以選擇合適的送料板和噴嘴。 使用可選的無震動單元，能夠進一步減少震動，使送料更加穩(wěn)定。 開發(fā)納米顆粒的合成/鍍膜用的高頻感應(yīng)等離子體裝置需要利用送粉器，需要連續(xù)供給和穩(wěn)定的投入速度，微細...