臥式低壓化學(xué)氣相沉積爐管用于沉積高品質(zhì)的n型摻雜或非摻雜的多晶硅或非晶硅；用于沉積高品質(zhì)的低應(yīng)力氮化硅或氮氧化硅。

反應(yīng)離子刻蝕機主要用于介質(zhì)薄膜干法刻蝕，包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等

超高真空濺射系統(tǒng)主要用于濺射沉積Pd、Ti、Zr、Ta、Al、Cu、W、 NiFe、FeMn,、CoFeS等各種納米級單層或多層納米厚度膜（通常低于50nm)。 ...

薄膜應(yīng)力測量儀 薄膜應(yīng)力測量儀主要用于薄膜張應(yīng)力測試和薄膜壓應(yīng)力測試。

四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設(shè)備污染）。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺。

半導(dǎo)體封裝材料I-V測試系統(tǒng)與探針臺，測試類型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε測試 搭配儀器：源表、高阻計、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

華測真空探針臺，測試類型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε測試 搭配儀器：源表、高阻計、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

絕緣電阻劣化（離子遷移）評估系統(tǒng)，絕緣電阻劣化（離子遷移）評估系統(tǒng)配之以高溫高濕試驗箱聯(lián)動，可高精度連續(xù)監(jiān)測，評估因離子遷移現(xiàn)象引起的壽命及絕緣電阻劣化相關(guān)問題。