低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率Zda、極限壓力Zdi的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

       在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。本案中客戶維修的低溫泵就是CTI品牌的閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵。

     安徽歌博科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用在真空系統(tǒng)設(shè)備檢漏行業(yè)，如圖所示即為安徽歌博A100型檢漏儀在為維修單位的CTI低溫泵設(shè)備維修后的檢漏。安徽歌博科技氦質(zhì)譜檢漏儀憑借便捷的操控，zhuo越的性能, 以及高靈敏超穩(wěn)定等優(yōu)點被業(yè)內(nèi)工程人員廣泛認(rèn)可，產(chǎn)品值得信賴。