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實測案例——折射率測量

來源：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司 更新時間：2025-04-30 15:15:16 閱讀量：321
導(dǎo)讀：實測案例——折射率，本次實測將測量薄膜的折射率和薄膜厚度。


目標(biāo)：測量薄膜的折射率和薄膜厚度。 


手段和方法：所有測量均使用調(diào)諧至530-980nm光譜范圍的FR-Basic進(jìn)行。用校準(zhǔn)的鋁樣品或標(biāo)準(zhǔn)硅晶片校正參考光譜。研究中使用的樣品是SiO2硅晶片上的層和厚SU-8層。使用具有Cauchy和Lorenz模型的FR-Monitor來計算折射率。


結(jié)果：在下圖中，SiO2的實驗和擬合光譜厚度為幾微米硅襯底上約10μm的SU-8。在左列中，膜厚度是用數(shù)據(jù)庫中的折射率值測量的，在右列中，厚度和折射率是同時計算的。在所有檢查的情況下，計算出的柯西和洛倫茲參數(shù)值表示的折射率（實部和虛部）值非常接近數(shù)據(jù)庫值。



結(jié)論：FR-Monitor可以成功地用于測量透明和半吸收材料的折射率以及薄膜厚度。


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