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徠卡工業(yè)課堂 | 紫外成像應(yīng)用分享

來源：徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司 更新時(shí)間：2026-01-29 13:30:26 閱讀量：95
導(dǎo)讀：徠卡工業(yè)課堂 | 紫外成像應(yīng)用分享


紫外的應(yīng)用點(diǎn)

紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率，能夠量測(cè)更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應(yīng)用于晶圓和掩膜版關(guān)鍵尺寸(CD)測(cè)量及缺陷分析。

（基于瑞利公式對(duì)比，基于紫外光和可見光波段相比，基于相同0.9NA物鏡對(duì)比）


什么是關(guān)鍵尺寸

晶圓 / 掩膜版的CD（關(guān)鍵尺寸），是芯?微結(jié)構(gòu)中決定器件性能、制程良率的核心線寬 / 間距 / 孔徑，是光刻、量測(cè)環(huán)節(jié)需極致精準(zhǔn)控制的核心指標(biāo)。


現(xiàn)有主流CD測(cè)量方案

受限于可見光的極限分辨率影響，如果關(guān)鍵尺寸低于350納米左右，現(xiàn)有客戶會(huì)選擇CD-SEM進(jìn)行量測(cè)工作。


CD-SEM和紫外的優(yōu)缺點(diǎn)對(duì)比

CD-SEM（CD掃描電鏡）的分辨率可以達(dá)到納米甚至亞納米，廣泛應(yīng)用于先進(jìn)制程20納米的CD測(cè)量。但CD-SEM造價(jià)昂貴，且測(cè)量速度不如傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)，對(duì)于250-350納米區(qū)間的成熟制程屬于過度配置方案，在該區(qū)域市面缺少合適的方案。


徠卡紫外方案

徠卡紫外成像系統(tǒng)搭載365納米紫外LED光源與150倍0.9NA紫外專用物鏡，實(shí)測(cè)可實(shí)現(xiàn)理論最低250納米左右的尺寸量測(cè)，以及3σ 5納米的重復(fù)精度。

徠卡紫外成像方案在該成熟制程區(qū)間可以給客戶提供更快的測(cè)量速度以及根據(jù)性價(jià)比的方案。

■徠卡紫外方案內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡介 ■ 


反射內(nèi)部光軸集成了電動(dòng)可切換的長壽命白光LED與UV LED光源


一鍵切換白光照明與UV照明，無需重新對(duì)焦，可編碼照明設(shè)置


光源完全集成在內(nèi)部，幾乎無熱量產(chǎn)生，確保潔凈間的良好環(huán)境


150倍可見光明場(chǎng)和150倍UV 效果對(duì)比

150倍可見光明場(chǎng)和150倍UV 效果對(duì)比


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關(guān)于徠卡顯微系統(tǒng)


徠卡顯微系統(tǒng)的歷史最早可追溯到19世紀(jì)，作為德國著名的光學(xué)制造企業(yè)，徠卡顯微成像系統(tǒng)擁有170余年顯微鏡生產(chǎn)歷史，逐步發(fā)展成為顯微成像系統(tǒng)行業(yè)的領(lǐng)先的廠商之一。徠卡顯微成像系統(tǒng)一貫注重產(chǎn)品研發(fā)和最新技術(shù)應(yīng)用，并保證產(chǎn)品質(zhì)量一直走在顯微鏡制造行業(yè)的前列。


徠卡顯微系統(tǒng)始終與科學(xué)界保持密切聯(lián)系，不斷推出為客戶度身定制的顯微解決方案。徠卡顯微成像系統(tǒng)主要分為三個(gè)業(yè)務(wù)部門：生命科學(xué)與研究顯微、工業(yè)顯微與手術(shù)顯微部門。徠卡在歐洲、亞洲與北美有9大產(chǎn)品研發(fā)中心與4大生產(chǎn)基地，在二十多個(gè)國家設(shè)有銷售及服務(wù)分支機(jī)構(gòu)，總部位于德國維茲拉(Wetzlar)。

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徠卡顯微系統(tǒng)(Leica Microsystems)是德國著名的光學(xué)制造企業(yè)。具有175年顯微鏡制造歷史，現(xiàn)主要生產(chǎn)顯微鏡, 用戶遍布世界各地。早期的“Leitz”顯微鏡和照相機(jī)深受用戶愛戴, 到1990年徠卡全部產(chǎn)品統(tǒng)一改為“Leica”商標(biāo)。徠卡公司是集顯微鏡、圖像采集產(chǎn)品、圖像分析軟件三位一體的顯微鏡生產(chǎn)企業(yè)。

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