四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備，該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。

       四探針測(cè)試儀操作流程和測(cè)試步驟：

       1.使用前期準(zhǔn)備--測(cè)試前準(zhǔn)備工作：

       1.1.開機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn) 定。若測(cè)試儀無法正常啟動(dòng)，請(qǐng)按以下步驟檢查：

       ①檢查電源線是否接觸良好；

       ②檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開

       ③檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷，如有必要，請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲

       如經(jīng)上述檢查無誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)本公司進(jìn)行解決。

       1.2.準(zhǔn)備好被測(cè)物，鏈接好測(cè)試探頭，把測(cè)試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動(dòng)或接觸不良而對(duì)測(cè)試結(jié)果造成影響. 

       1.3.接通電源，開啟電源開關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進(jìn)入， 

       1.4.進(jìn)入測(cè)試功能界面如圖4、圖5；如測(cè)試方阻時(shí)，請(qǐng)選擇液晶顯示屏又側(cè)對(duì)應(yīng) 的功能按鍵“方阻”，則進(jìn)入方阻測(cè)試界面；如測(cè)試其他材料時(shí)，請(qǐng)選擇“材料”則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測(cè)試儀界面。 

       1.5.設(shè)置好被測(cè)物所需之參數(shù)，把被測(cè)物放于測(cè)試治具平臺(tái)上操作，測(cè)試完畢直接顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請(qǐng)注意查看操作步驟. 

       以下分別講解方阻和材料測(cè)試的設(shè)置

       2.四探針雙電方阻測(cè)試步驟

       2.1.上述步驟中1項(xiàng)，使用前期準(zhǔn)備

       2.2 把被測(cè)物測(cè)試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

       2.2.1依據(jù)不同之測(cè)試樣品，選擇被測(cè)試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動(dòng)光標(biāo)至“電流”功能，按“設(shè)置”鍵進(jìn)入；再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長(zhǎng)度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

       2.2.2.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時(shí)已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測(cè)量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動(dòng)至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進(jìn)入，通過面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動(dòng)修正，無需再次輸入和查詢表格。

       2.3.四探針測(cè)試儀測(cè)試探頭和測(cè)試平臺(tái)操作

選配測(cè)試平臺(tái)的將被測(cè)物放在測(cè)試平臺(tái)上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測(cè)試平臺(tái)上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測(cè)物品，后壓下探頭至被測(cè)物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取.