PRTS-4A型全自動(dòng)掃描四探針測(cè)試系統(tǒng) PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過(guò)全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，對(duì)晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測(cè)量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。 PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測(cè)試系統(tǒng)通過(guò)采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù)，將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，其Z后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。因而在測(cè)試過(guò)程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對(duì)以上不利因素的自動(dòng)修正，顯著降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。 PRTS-4A全自動(dòng)掃描四探針測(cè)試系統(tǒng)擁有友好操作測(cè)試界面，通過(guò)此測(cè)試程序輔助用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試操作，把采集到的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以Excel表格，2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來(lái)。方便用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，

1)測(cè)試儀設(shè)計(jì)，符合國(guó)標(biāo)和行業(yè)規(guī)范，獲國(guó)家ZL。ZL號(hào)：ZL201220082173.9 2)同步式連續(xù)多點(diǎn)測(cè)試，GX快捷、準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好。一次裝料，電阻率、壓強(qiáng)、高度同步式連續(xù)多點(diǎn)測(cè)試，可快速繪制粉末“電阻率-壓強(qiáng)”曲線。行業(yè)推薦粉末電阻率標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方式?？杀苊鈧鹘y(tǒng)異步式的先壓片脫模后再四探針測(cè)試的缺項(xiàng)：誤差大，重復(fù)性差，直至散塊不能成形無(wú)法測(cè)試的問(wèn)題。 3)帶智能化電腦軟件.可以保存、查詢、統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)和打印報(bào)告。 4）USB通訊接口，通用性好、方便快捷。 5）8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。 6）可脫電腦單機(jī)操作,小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體化。操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼鍵盤輸入。 7）可拓展功能：壓片機(jī)可獨(dú)立當(dāng)普通壓片機(jī)用，電阻率測(cè)試儀也可以增配四探針測(cè)試臺(tái)、探頭拓展為普通四探針測(cè)試儀或電池極片電阻率測(cè)試儀。

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1)測(cè)試儀設(shè)計(jì)，符合國(guó)標(biāo)和行業(yè)規(guī)范，獲國(guó)家ZL。ZL號(hào)：ZL201220082173.9 2)同步式連續(xù)多點(diǎn)測(cè)試，GX快捷、準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好。一次裝料，電阻率、壓強(qiáng)、高度同步式連續(xù)多點(diǎn)測(cè)試，可快速繪制粉末“電阻率-壓強(qiáng)”曲線。行業(yè)推薦粉末電阻率標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方式?？杀苊鈧鹘y(tǒng)異步式的先壓片脫模后再四探針測(cè)試的缺項(xiàng)：誤差大，重復(fù)性差，直至散塊不能成形無(wú)法測(cè)試的問(wèn)題。 3)帶智能化電腦軟件.可以保存、查詢、統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)和打印報(bào)告。 4）USB通訊接口，通用性好、方便快捷。 5）8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。 6）可脫電腦單機(jī)操作,小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體化。操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼鍵盤輸入。 7）可拓展功能：壓片機(jī)可獨(dú)立當(dāng)普通壓片機(jī)用，電阻率測(cè)試儀也可以增配四探針測(cè)試臺(tái)、探頭拓展為普通四探針測(cè)試儀或電池極片電阻率測(cè)試儀。