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TESCAN半導(dǎo)體業(yè)務(wù)介紹

來(lái)源:泰思肯貿(mào)易(上海)有限公司 更新時(shí)間:2025-03-05 13:29:35 閱讀量:622
導(dǎo)讀:TESCAN 半導(dǎo)體行業(yè)解決方案

TESCAN 半導(dǎo)體

行業(yè)解決方案


TESCAN在半導(dǎo)體行業(yè)提供一系列高端解決方案,包括:


TESCAN 半導(dǎo)體
失效分析解決方案

非破壞性缺陷檢測(cè)

失效分析流程一:發(fā)現(xiàn)缺陷

印刷電路板X(qián)射線顯微鏡斷層掃描(Micro-CT)顯示錫球

顯微CT

Micro-CT(TESCAN UniTOM HR)對(duì)樣品進(jìn)行非破壞性掃描,快速識(shí)別內(nèi)部缺陷,確保樣品完整性。

TESCAN UniTOM HR 是唯Y一款能夠提供亞微米級(jí)空間分辨率和高時(shí)間分辨率的顯微CT(Micro-CT)系統(tǒng)。這一極具多功能性的系統(tǒng)可為失效分析以及三維/四維表征提供非破壞性三維 X 射線成像。

大至12英寸晶圓無(wú)損缺陷檢測(cè)

超大樣品室專為半導(dǎo)體研發(fā)和失效分析定制化設(shè)計(jì)。無(wú)損容納12英寸(300mm)晶圓;擁有諸多傾斜55° TEM 樣品制備的好處;EssenceTM 碰撞模型讓設(shè)備兼容更安全。TESCAN掃描電子顯微鏡選配件。


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12英寸晶圓檢測(cè)及FIB加工解決方案



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高精度失效分析

失效分析流程二:暴露缺陷 

等離子體 FIB-SEM(如TESCAN AMBER X 2)對(duì)樣品進(jìn)行高精度銑削和切片,精準(zhǔn)暴露缺陷位置。

另有 TESCAN NanoSpace 可以同時(shí)配置鎵和等離子體多束FIB,它的六軸樣品臺(tái)有處理8英寸晶圓的能力。

失效分析流程三:分析成分

結(jié)合 EDS 等分析技術(shù),揭示材料屬性和缺陷的根本原因。

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大體積加工工作流程

TESCAN 大體積工作流程結(jié)合了獨(dú)立的激光消融技術(shù)和 Xe 等離子體 FIB-SEM,用于毫米級(jí)樣品的制備和分析。它能夠快速高效地訪問(wèn)深埋的感興趣區(qū)域(ROIs)。


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天下武功唯快不破!展望失效分析的未來(lái):大體積工作流程

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高質(zhì)量實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的去層

TESCAN AMBER X2 是一款獨(dú)特的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡(FIB-SEM)系統(tǒng),專為加速先進(jìn)半導(dǎo)體器件的表征而設(shè)計(jì),能夠在同一系統(tǒng)中提供無(wú)損傷的平面去層和原位納米探針工作。這種設(shè)計(jì)使得該設(shè)備在失效分析、研發(fā)以及質(zhì)量控制等領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢(shì)。

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大面積截面制備和高精度終點(diǎn)測(cè)量

TESCAN SOLARIS X 2 能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)先進(jìn)封裝器件中深埋缺陷的高通量聚焦離子束(FIB)物理失效分析,同時(shí)支持高精確的透射電子顯微鏡(TEM)/掃描透射電子顯微鏡(STEM)樣品制備,最大限度減少樣品損傷,并有效避免Ga?金屬污染。

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批量化、高質(zhì)量
TEM樣品制備解決方案

TESCAN SOLARIS 2 是一款全自動(dòng)化的鎵離子束掃描電子顯微鏡(Ga FIB-SEM),專為高精度TEM樣品制備而設(shè)計(jì),并配備人工智能驅(qū)動(dòng)的TEM AutoTEM Pro?軟件。該設(shè)備適用于失效分析、研發(fā)以及質(zhì)量控制等領(lǐng)域。

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整機(jī)定制多束 FIB-SEM
滿足特殊需求

TESCAN NanoSpace 是一款多聚焦離子束整機(jī)定制掃描電子顯微鏡。它的六軸樣品臺(tái)有處理8英寸晶圓的能力。


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 TESCAN整機(jī)定制及電鏡升級(jí)服務(wù)介紹

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先進(jìn)納米級(jí)表征

失效分析流程四:驗(yàn)證與關(guān)聯(lián)

4D-STEM 或 TEM 提供高分辨率成像,完成最終驗(yàn)證并關(guān)聯(lián)分析結(jié)果。

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高度集成、旋進(jìn)輔助的
分析型 4D-STEM

TESCAN TENSOR 掃描透射電子顯微鏡實(shí)現(xiàn)了全方位的整合與系統(tǒng)自動(dòng)化。它具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,能夠以高精度、高準(zhǔn)確性和高重復(fù)性,高效完成材料及納米器件的失效分析、工藝開(kāi)發(fā)以及應(yīng)變工程。


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 TESCAN TENSOR 4D-STEM 榮獲 R&D100大獎(jiǎng)

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想要深入了解半導(dǎo)體技術(shù)的各個(gè)方面,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們的半導(dǎo)體中文網(wǎng)站:

zh.info.tescan.com/semicon




未來(lái)展望

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,TESCAN預(yù)計(jì)對(duì)量測(cè)和缺陷檢測(cè)設(shè)備的需求將持續(xù)增長(zhǎng)。TESCAN將繼續(xù)關(guān)注客戶需求,研發(fā)新技術(shù),提供更高效、準(zhǔn)確的解決方案。



TESCAN介紹

TESCAN,全Q知名的電子顯微儀器制造商,專注于微觀形貌、結(jié)構(gòu)和成分分析的科學(xué)儀器研發(fā)與制造。總部位于捷克布爾諾,擁有超過(guò)70年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史。TESCAN的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、生物、材料科學(xué)、半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域。

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TESCAN是一家專注于提供微觀形貌、結(jié)構(gòu)和成分分析的科學(xué)儀器的跨國(guó)企業(yè),是全Q知名的電子顯微儀器制造商,總部位于全Q最大的電鏡制造基地-捷克布爾諾,目前已建立起全Q的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò),在捷克、法國(guó)和美國(guó)等擁有5家研發(fā)中心、2個(gè)生產(chǎn)基地以及8家海外子公司,已有超過(guò)70年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史。其產(chǎn)品主要有掃描透射電子顯微鏡、電子顯微鏡、聚焦離子束系統(tǒng)、Micro-CT,以及相關(guān)分析附件和軟件,正被廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、生物、生化、農(nóng)業(yè)、材料科學(xué)、冶金、化學(xué)、石油、制藥、半導(dǎo)體和電子器件等領(lǐng)域中。

作為科學(xué)儀器的全Q供應(yīng)商之一,TESCAN正為其在設(shè)計(jì)、研發(fā)和制造的各類儀器及儀器在不同領(lǐng)域的應(yīng)用方面樹(shù)立良好的聲譽(yù)和品牌。目前TESCAN的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)在全Q微納米技術(shù)領(lǐng)域取得了領(lǐng)先的地位,首創(chuàng)了掃描電鏡與拉曼共聚焦顯微鏡一體化技術(shù)、雙束電鏡與飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜儀一體化技術(shù)以及氙等離子聚焦離子束技術(shù),是行業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)L導(dǎo)者。 

TESCAN憑借優(yōu)異的性能贏得全世界越來(lái)越多的用戶認(rèn)可,目前生產(chǎn)的各系列電鏡在世界范圍內(nèi)受到廣泛的好評(píng),TESCAN的產(chǎn)品與技術(shù)正積極服務(wù)于全Q客戶。


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泰思肯中國(guó)


自2009年進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),TESCAN中國(guó)分公司——泰思肯(中國(guó))有限公司,在上海設(shè)立總部和演示中心,并在多個(gè)城市設(shè)立維修站,提供專業(yè)的售前應(yīng)用和售后服務(wù)。

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TESCAN于2009年正式進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),成立了TESCAN中國(guó)分公司---泰思肯(中國(guó)),總部和演示中心設(shè)在上海,在北京、上海、廣州、沈陽(yáng)、西安、成都、武漢、南京、長(zhǎng)沙、中山等城市設(shè)立10個(gè)維修站。TESCAN中國(guó)公司擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的售前應(yīng)用和售后服務(wù)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),在上海的應(yīng)用演示中心有包含鎢燈絲電鏡、場(chǎng)發(fā)射電鏡、雙束聚焦電鏡系統(tǒng)(FIB-SEM)、TOF-SMIS、EDS、EBSD、電鏡制樣等相關(guān)設(shè)備的演示培訓(xùn)平臺(tái),為國(guó)內(nèi)用戶提供參觀、交流和學(xué)習(xí)的平臺(tái)。

在進(jìn)入中國(guó)的十多年來(lái),TESCAN已逐步建立起了自己的品牌,并得到了廣大客戶的認(rèn)同。TESCAN已經(jīng)在中國(guó)擁有800多個(gè)客戶,安裝近1000臺(tái)掃描電鏡和雙束聚焦電鏡(FIB-SEM)。TESCAN在中國(guó)的高速發(fā)展得益于產(chǎn)品優(yōu)異的性能、快捷的售后服務(wù)以及致力于成就客戶的信念,未來(lái)TESCAN中國(guó)將持續(xù)提升個(gè)性化服務(wù),為國(guó)內(nèi)用戶提供更全面、更專業(yè)的綜合解決方案!


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