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蔡司望遠(yuǎn)鏡新疆總代理問答

2023-02-01 14:56:12蔡司激光共聚焦顯微鏡-微納器件的表征分析: 對(duì)微納器件進(jìn)行表征時(shí)，常關(guān)注的便是器件的表面形貌和三維尺寸信息，比如粗糙度、深度、體積等，這些都是評(píng)價(jià)微納加工工藝的重要指標(biāo)。然而，在進(jìn)行表面三維的分析工作中，我們可能常遇到這樣的苦惱：　　光學(xué)明場(chǎng)無法直接定位到亞微米級(jí)缺陷結(jié)構(gòu)!　　樣品結(jié)構(gòu)太復(fù)雜，微弱信號(hào)無法捕獲，難以準(zhǔn)確測(cè)量尺度信息!　　三維接觸式測(cè)量經(jīng)常會(huì)損傷柔軟樣品，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確!　　今天，友碩小編將從下面幾個(gè)角度來看看蔡司激光共聚焦顯微鏡如何幫助你更好地解決這些問題。　　失效分析：多尺度多維度原位分析!　　器件表面往往存在一些特殊的結(jié)構(gòu)或缺陷，比如亞微米尺度的劃痕，這些特征難以在光學(xué)明場(chǎng)下被直接觀察到。C-DIC(圓微分干涉)觀察模式可以讓樣品表面亞微米尺度的微小起伏都可以呈現(xiàn)出浮雕效果，幫助我們快速定位并開展下一步的分析工作?！　　?不同觀察方式下晶圓表面缺陷　　在定位到感興趣區(qū)域后，可以直接切換到共聚焦模式，進(jìn)行表面三維形貌掃描，并進(jìn)行尺寸測(cè)量及分析，無需轉(zhuǎn)移樣品即可完成樣品多尺度多維度的表征?！　　簿劢谷S圖像及深度測(cè)量　　對(duì)于某些樣品，暗場(chǎng)和熒光模式也是一種很好定位方法，表面起伏的結(jié)構(gòu)在暗場(chǎng)下尤其明顯，如藍(lán)寶石這類能發(fā)熒光的晶圓，利用熒光成像也能幫助我們快速地定位到失效結(jié)構(gòu)。甚至，共聚焦還可以和電鏡或者雙束電鏡(FIB)(點(diǎn)擊查看)實(shí)現(xiàn)原位關(guān)聯(lián)，在共聚焦顯微鏡下進(jìn)行定位后轉(zhuǎn)移樣品到電鏡下進(jìn)行更高分辨的表征分析?！　∩罟杩涛g：結(jié)構(gòu)深，信號(hào)弱，蔡司激光共聚焦顯微鏡有辦法!　　深硅刻蝕的樣品通常為窄而深的溝壑結(jié)構(gòu)。接觸式測(cè)量(如臺(tái)階儀)無法接觸到溝壑底部測(cè)得信息，而由于結(jié)構(gòu)特殊造成了反射光信號(hào)損失，常規(guī)白光干涉或者顯微明場(chǎng)無法捕獲底面的微弱信號(hào)。因此，不得不對(duì)樣品進(jìn)行裂片分析，這不僅破壞了樣品，而且還使分析流程復(fù)雜化?！　∥骱髮W(xué)張先鋒老師用蔡司激光共聚焦顯微鏡對(duì)深163.905 μm，寬3.734μm的刻蝕坑進(jìn)行成像，高靈敏探測(cè)器、大功率激光及Z Brightness Correction技術(shù)可以幫助成功檢測(cè)到底部的微弱信號(hào)，完成大深寬比(近50：1)樣品的三維形貌表征與測(cè)量，輕松實(shí)現(xiàn)無損檢測(cè)分析。

2021-02-23 16:02:57蔡司電子顯微鏡納米級(jí)顆粒度分析解決方案: 　蔡司光學(xué)顯微鏡圖像對(duì)零配件和生產(chǎn)過程進(jìn)行清潔度檢測(cè)時(shí)，需要確保機(jī)械組件在無摩擦狀態(tài)下工作。必須避免因裂紋引起的泄漏，減少噴嘴和過濾器堵塞以及防止泵和閥門發(fā)生故障?！　〗档途S護(hù)成本和縮短機(jī)器設(shè)備停機(jī)時(shí)間。　　電子顯微鏡圖像全自動(dòng)納米級(jí)顆粒度分析軟件 —— 蔡司 SmartPI　　利用電子顯微鏡分析濾膜上多達(dá) 200,000 個(gè)顆粒，并可選擇地了解材料的化學(xué)組份信息 – SmartPI 讓這一切的全自動(dòng)化運(yùn)行得以實(shí)現(xiàn)。　　光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡的疊加圖像(包含 EDX 分析)蔡司關(guān)聯(lián)顆粒度分析能夠在光學(xué)和電子顯微鏡下快速測(cè)量與分析多達(dá) 200 個(gè)關(guān)鍵顆粒并表征它們 — 快速。這套用于顆粒度 EDS 分析的 Correlative Particle Analyzer 系統(tǒng)符合 ISO 16232 和 VDA19 標(biāo)準(zhǔn)。

2021-02-23 17:30:29蔡司三坐標(biāo)測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定可靠: 眾所周知，溫度對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它的測(cè)量設(shè)備的穩(wěn)定性、測(cè)量結(jié)果的可靠性都有影響，雖然蔡司三坐標(biāo)測(cè)量結(jié)果可以進(jìn)行溫度補(bǔ)償。而溫度的變化，如溫度隨時(shí)間以及空間的變化對(duì)測(cè)量精度的影響是很難進(jìn)行修正的。　　▲表一：常見材料的熱膨脹系數(shù)　　　　▲表二：不同機(jī)型對(duì)溫度的要求　　測(cè)量實(shí)驗(yàn)室的理想溫度通常為20°C。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致材料膨脹或收縮。越是對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)準(zhǔn)度要求高，溫度的影響就越顯著?！　⊥ㄟ^表一和表二可見，不同的材料，由于其熱膨脹系數(shù)不同，溫度測(cè)量結(jié)果的影響是很大的?！　?/dd>
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2021-02-23 17:16:49蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡靈活的探測(cè): 蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要優(yōu)勢(shì)有：靈活的探測(cè)，4步工作流程，的分析性能將的分析性能與場(chǎng)發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測(cè)器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動(dòng)的4步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間：設(shè)置成像與分析步驟，提效率。Sigma 300 性價(jià)比高。Sigma 500 裝配有的背散射幾何探測(cè)器，可快速方便地實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)分析。任何時(shí)間，任何樣品均可獲得可重復(fù)的分析結(jié)果。蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是基于成熟的 Gemini 技術(shù)Gemini 鏡頭的設(shè)計(jì)結(jié)合考慮了電場(chǎng)與磁場(chǎng)對(duì)光學(xué)性能的影響，并將場(chǎng)對(duì)樣品的影響降至更低。這使得即使對(duì)磁性樣品成像也能獲得出色的效果。Gemini in-lens 的探測(cè)確保了信號(hào)探測(cè)的效率，通過二次檢測(cè)(SE)和背散射(BSE)元件同時(shí)減少成像時(shí)間。Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測(cè)器尺寸和高的信噪比。本文有蔡司顯微鏡廠家小編Pancy整理，更多關(guān)于蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡相關(guān)的咨詢