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2026-01-15 10:37:56雙氧水灌裝
雙氧水灌裝是指將雙氧水(過氧化氫溶液)按照一定規(guī)格和要求灌入特定容器中的過程。這一過程需確保雙氧水的純凈度、濃度及灌裝量的準(zhǔn)確性,通常涉及高精度計量、密封包裝及安全操作。雙氧水作為強氧化劑,灌裝時需嚴(yán)格控制環(huán)境條件,避免與可燃物接觸,確保生產(chǎn)安全。灌裝設(shè)備需具備耐腐蝕、易清洗等特點,以滿足長期穩(wěn)定運行的需求。

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2020-10-14 09:28:46芯中有我|電子級雙氧水
過氧化氫也叫雙氧水,是半導(dǎo)體行業(yè)常用的一種化學(xué)試劑,主要用作半導(dǎo)體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高級絕緣層制取,電鍍液無機雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質(zhì)會對元器件性能產(chǎn)生致命影響,因此必須使用純度非常高的過氧化氫。目前國內(nèi)在過氧化氫方面的標(biāo)準(zhǔn)主要有GB/T 1616-2014《工業(yè)過氧化氫》、GB 22216-2008《食品添加劑 過氧化氫》、GB/T 6684-2002《化學(xué)試劑 30%過氧化氫》和HG/T 5553-2019《土壤修復(fù)用過氧化氫》,標(biāo)準(zhǔn)的要求相對較低,不能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的使用。而國際半導(dǎo)體協(xié)會SEMI則是專門針對半導(dǎo)體行業(yè)推出了相關(guān)的國際標(biāo)準(zhǔn)《SEMI C30-0301SPECIFICATIONS AND GUIDELINES FOR HYDROGEN PEROXIDE》,其中對半導(dǎo)體用的過氧化氫中各項雜質(zhì)含量做出了規(guī)定,并推薦了檢測方法。對于Grade 2和Grade 3產(chǎn)品,SEMI建議將樣品加堿蒸餾后使用離子色譜法檢測其中的氯離子、硝酸根、磷酸根和硫酸根。瑞士萬通離子色譜可以充分滿足該標(biāo)準(zhǔn)的檢測要求,并且針對前處理中加堿容易引入雜質(zhì)的方法缺陷進行了改進。樣品前處理中加堿蒸餾的目的是為了將過氧化氫分解,從而避免過氧化氫對色譜柱的氧化破壞。除SEMI標(biāo)準(zhǔn)中提到的上述方法外,還有人采用鉑電極催化的方法來分解過氧化氫,該方法雖然避免了雜質(zhì)離子的引入,但是樣品處理時間較長,而且需要加熱;也有人采用在線閥切換的方法減少過氧化氫對色譜柱的破壞,但是該方法需要的儀器配置較高,不適合大面積推廣使用。針對以上問題,瑞士萬通推出了英藍預(yù)濃縮-基體消除技術(shù),電子級過氧化氫可直接進樣,無需前處理,且儀器配置簡單,可有效降低使用成本。只需將樣品放置在自動進樣器上,系統(tǒng)便可自動完成樣品的基體消除和預(yù)濃縮過程。首先,通過瑞士萬通高精度的移液裝置Dosino移取一定體積的樣品使其通過預(yù)濃縮柱,其中痕量陰離子被保留在預(yù)濃縮柱上,然后使用高純水流經(jīng)預(yù)濃縮柱,將不帶電荷的過氧化氫沖入廢液中,而其中的痕量陰離子則不會被洗脫下來,實現(xiàn)濃縮和基體消除的目的。再用淋洗液反向沖洗預(yù)濃縮柱,留在預(yù)濃縮柱上的陰離子即可被帶入色譜柱進行分離。某客戶VL級H2O2樣品譜圖(25.5% ~ 26.5%)英藍預(yù)濃縮–基體消除技術(shù)對電子級過氧化氫直接進樣分析的方法,可以有效解決過氧化氫基體對色譜柱及譜圖的不利影響,同時直接進樣使得痕量陰離子的檢測靈敏度及準(zhǔn)確性大幅提高。英藍預(yù)濃縮– 基體消除技術(shù)是英藍預(yù)濃縮、英藍基體消除技術(shù)的聯(lián)用,除此之外瑞士萬通還有英藍超濾、英藍滲析、英藍單標(biāo)多點、英藍基體中和等多種樣品前處理技術(shù),可以根據(jù)樣品情況自由組合配置,充分滿足各種不同應(yīng)用場景的需要,為您提供定制化服務(wù)。想要了解更多內(nèi)容,請聯(lián)系當(dāng)?shù)劁N售工程師或撥打400-604-0088,瑞士萬通竭誠為您服務(wù)!
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