"全文請?jiān)L問：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf
利用離子束增強(qiáng)交替濺射聚四氟乙烯和氮化硅靶的方法制備出微組裝的Teflon/Si3N4多層膜，并通過PHI-5300FT-IR2000XRD和AFM/FFM等測定了多層膜的結(jié)構(gòu)力學(xué)性能和微觀摩擦磨損性能實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：Teflon/Si3N4多層膜由晶態(tài)的Teflon和非晶態(tài)的Si3N4組成；Teflon/Si3N4多層膜的硬度與韌性摩擦系數(shù)與耐磨能力得到優(yōu)化組合；Teflon/Si3N4膜的微摩擦力與載荷間呈良好的線形關(guān)系；當(dāng)載荷大于70nN時(shí)，摩擦過程中Teflon會(huì)發(fā)生滑移，出現(xiàn)明顯的磨損 全文請?jiān)L問：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf" 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)