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采用AFM , 對(duì)常見的氧化物單層膜增透膜和高反膜的表面形貌進(jìn)行了觀測, 并初步研究了激光預(yù)處理對(duì)薄膜表面形貌的影響 全文請?jiān)L問: 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)

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