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本文簡要描述了激光檢測摩擦力顯微鏡的工作原理,探索出一種橫向力標(biāo)定的有效方法,可以從橫向力信號中提取摩擦力信號,從而能夠定量地對試樣表面的形貌和力學(xué)性質(zhì)進(jìn)行納米量級的評定,以獲取微觀表面真實(shí)的三維形貌圖和微觀摩擦系數(shù)等信息,為納米摩擦學(xué)設(shè)計提供依據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,用該方法測得未清洗單晶硅表面的微觀摩擦系數(shù)約為0.06,和Bhushan等人的結(jié)果吻合的很好
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掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)
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