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配備固體進(jìn)樣器的 Agilent Cary 7000 UMS 已成功用于薄膜基底的大樣品表征。自動進(jìn)樣器以空間映射模式運(yùn)行,適用于 ZTO 研究。通過采集透射光譜,將 ZTO 基底的帶隙能量映射在晶圓的整個直徑范圍上。數(shù)據(jù)顯示出一些差異,例如晶圓頂部由沉積過程造成了ZG的 Zn 濃度,因而頻率較低。
在尋找昂貴基底(如氧化銦錫 (ITO))的合適替代品時,可以使用這一方法來表征光學(xué)帶隙能量相近的材料。
Cary 7000 UMS 和固體進(jìn)樣器有望成為用于光學(xué)材料、涂層以及工業(yè)和實驗室各種應(yīng)用中組分表征的重要工具。
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