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Hitachi公司自主研發(fā)的超級(jí)可變壓力探測器UVD,設(shè)計(jì)原理和陰極熒光探測器類似,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)接收陰極熒光的功能,可應(yīng)用在日立鎢燈絲掃描電鏡SU3500以及場發(fā)射掃描電鏡SU5000等可以配置UVD探測器的設(shè)備上進(jìn)行相應(yīng)的形貌成分陰極發(fā)光等觀察 Hitachi日立新型熱場發(fā)射掃描電鏡SU5000

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