在微電子超純水（UPW）應(yīng)用中，水系統(tǒng)中的總有機(jī)碳（TOC）濃度極低，通常為亞ppb級。本文介紹如何優(yōu)化微電子超純水應(yīng)用中的在線總有機(jī)碳分析，包括操作步驟指導(dǎo)。Sievers等廠商生產(chǎn)的分析儀，檢測限均在0.02至0.03 ppb之間。典型的超純水系統(tǒng)的TOC濃度在0.2至0.4 ppb之間，或者說僅比分析儀的檢測限高一個數(shù)量級。當(dāng)要測量的TOC濃度非常接近分析儀的檢測限時，我們可以優(yōu)化分析儀的性能以獲得理想的測量結(jié)果，但此時的校準(zhǔn)方法必需有別于測量高TOC時所采用的校準(zhǔn)方法。