有效管理離子交換（IX，Ion exchange）樹(shù)脂床，對(duì)于實(shí)現(xiàn)超純水（UPW，Ultrapure Water）系統(tǒng)的最佳性能來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。再生和更換離子交換樹(shù)脂時(shí)采取的預(yù)防性維護(hù)（PM，Preventative Maintenance）計(jì)劃具有固定的實(shí)施頻率和很強(qiáng)的時(shí)效性；與之相比，在混合樹(shù)脂床和拋光環(huán)路樹(shù)脂床后面連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)超純水水質(zhì)則是更好的控制策略。

如果在基于時(shí)間的樹(shù)脂更換再生之前，樹(shù)脂床即將耗盡，有害離子污染物就會(huì)進(jìn)入超純水。相反，如果過(guò)于頻繁地再生或更換樹(shù)脂，則會(huì)不必要地增加運(yùn)營(yíng)成本。由于離子親和性的差異，用在線型硼濃度分析儀來(lái)檢測(cè)離子交換的有效性，要優(yōu)于用在線型二氧化硅分析儀來(lái)達(dá)到同樣目的。

卓有成效的樹(shù)脂管理要求根據(jù)明確且可測(cè)量的指標(biāo)參數(shù)來(lái)評(píng)估樹(shù)脂床的實(shí)際性能，而基于時(shí)間的方法無(wú)法滿足要求，這是因?yàn)榇朔m然可以避免污染下游工藝，但必須付出運(yùn)營(yíng)成本過(guò)高的代價(jià)。只有進(jìn)行連續(xù)的在線硼監(jiān)測(cè)，才能在規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)最大限度地提高工藝效率和降低運(yùn)營(yíng)成本。

標(biāo)簽：硼微電子半導(dǎo)體