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儀器網(wǎng)/ 應(yīng)用方案/ FIB-SEM雙束電鏡應(yīng)用之TOF-SIMS輕元素分析

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方案優(yōu)勢
FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能: 1.輕元素分析:元素分析范圍從H開始; 2.痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有極高的靈敏度,幾個ppm的輕元素都可以進(jìn)行表征; 3.優(yōu)秀的空間分辨率:由于離子束與樣品的作用區(qū)域更小,空間分辨率可達(dá)10nm; 4.深度剖析:由于離子束可以逐層剝離樣品,從而可以實(shí)現(xiàn)深度上對元素分布的表征。


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