用戶在使用掃描電鏡過程中，通常需要對粉末微顆粒樣品、晶相樣品、醫(yī)學組織細胞的幾何掃描電鏡呈像時多采用的是二次電子或者背散射電子，獲取的圖像都是二維圖像，但是在很多時候?qū)τ诒砻娌黄秸臉悠肺覀冃枰私馑赯方向上的襯度，例如斷口樣品的表面輪廓、粗糙度或者某一特征區(qū)域的高度等等。在TESCAN 掃描電鏡上可以搭載3D測量功能，通過電子束的搖擺或者樣品臺的搖擺獲得同一個位置兩張或者三張不同角度的照片，利用三維重構(gòu)算法實現(xiàn)掃描二維向三維的轉(zhuǎn)換，從而對樣品進行三維成像。它對于失效分析類似的工作具有很大的幫助。