硅材料具有優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能，是用量Zda應(yīng)用Z廣的半導(dǎo)體材料硅材料中BPCuFe等都是極有害的雜質(zhì)，因此，電子工業(yè)中對硅材料的純度要求極高由于硅材料中主成分是硅和碳，溶解此類樣品通常需要加入HF，溫度過高易造成B的損失，另外硅材料中雜質(zhì)含量通常很低，要求分析儀器具有較高的靈敏度，尤其要求BP等難電離元素具有高靈敏度因此，選擇合適的消解方法和高靈敏的檢測儀器對此類樣品的分析至關(guān)重要；本文采用氫氟酸等混合酸低溫濕法消解硅材料樣品，隨后使用ICP-5000對該樣品中AlBCaFeNiMnPTi 8種有害雜質(zhì)元素進(jìn)行測定， 并考察了儀器檢出限和方法的精密度 聚光ICP-5000電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀