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儀器網(wǎng)/ 應(yīng)用方案/ 用戶論文:納米硅薄膜界面結(jié)構(gòu)的微觀特征

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全文請(qǐng)?jiān)L問:http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf
對(duì)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積法(PECVD)制備的納米硅薄膜(nc-Si:H),使用HREM及STM技術(shù)觀測了其顯微結(jié)構(gòu),給出大量的界面結(jié)構(gòu)圖像S次獲得有關(guān)晶粒及界面區(qū)中原子的分布情況使我們認(rèn)識(shí)到nc-Si:H膜中界面區(qū)內(nèi)的硅原子仍然是具有短程有序性并不是完全無序的 全文請(qǐng)?jiān)L問:http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)

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