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Hiden的EQP等離子體質(zhì)量能量分析儀在薄膜的磁控濺射沉積研究中可以提供殘余氣體分析隨磁控源開關(guān)產(chǎn)生的氣體分析離子能量分布中性粒子分析等多種分析手段 EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

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