Proflim 3D是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對(duì)納米級(jí)特征進(jìn)行測量，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對(duì)亞微米至毫米級(jí)特征進(jìn)行測量。 Proflim 3D的程序設(shè)置簡單靈活，可以進(jìn)行單次掃描或多點(diǎn)自動(dòng)測量，適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

※ 從納米級(jí)到毫米級(jí)的3D臺(tái)階高度 ※ 3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀，紋理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面進(jìn)行高分辨率掃描 ※ 高粗糙度，低反射率，劃痕表征

滿足計(jì)量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；雙頻激光干涉儀

專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；雙頻激光干涉儀，進(jìn)口設(shè)備轉(zhuǎn)國產(chǎn)化的優(yōu)選產(chǎn)品

FUJINON IR10 富士紅外激光干涉儀 產(chǎn)品信息 品牌：FUJINON 型號(hào)：IR10 產(chǎn)地：日本

ZeGage? Plus 激光干涉儀是用于3D形貌定量測試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。

ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀通過波長調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。