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Filmetrics F20 經(jīng)濟(jì)實(shí)用型單點(diǎn)膜厚儀
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Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹:
Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 依靠光譜測(cè)量系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶(hù)可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái),以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。
Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果;
可測(cè)樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量;
測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶(hù)從不同的角度檢視;
Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)測(cè)量原理:
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用:
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識(shí)別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽(yáng)能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽(yáng)極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品參數(shù):
波長(zhǎng)范圍: | 190nm-1340nm | 光源: | 鎢鹵素?zé)簟㈦疅?/p> |
厚度測(cè)量范圍: | 5nm-2mm | 測(cè)量精度: | 0.02nm |
光斑大?。?/p> | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米 | 樣品臺(tái)尺寸: | 1-300mm |
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Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 測(cè)量圖:

上傳人:優(yōu)尼康科技有限公司
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Filmetrics F54 微區(qū)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米,可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線(xiàn)性圖案模式,或自行建立無(wú)數(shù)量限制之測(cè)量點(diǎn).只需具備基本電腦技能,就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。
Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 依靠光譜測(cè)量系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶(hù)可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái),以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。
Filmetrics F60-t 自動(dòng)膜厚儀就像我們的F50自動(dòng)膜厚儀產(chǎn)品一樣。主要測(cè)繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),以及可以升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
Filmetrics F32 四通道在線(xiàn)式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤(pán),加上附加的分光計(jì),可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個(gè)位置)。F32膜厚儀軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。還提供可選的透鏡組件,以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。
無(wú)論您是想要知道薄膜厚度、光學(xué)常數(shù),還是想要知道材料的反射率和透過(guò)率,F(xiàn)ilmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀都能滿(mǎn)足您的需要。僅需花費(fèi)幾分鐘完成安裝,通過(guò)USB連接電腦,設(shè)備就可以在數(shù)秒內(nèi)得到測(cè)量結(jié)果?;谀K化設(shè)計(jì)的特點(diǎn),F(xiàn)ilmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀適用于各種應(yīng)用。
Filmetrics F54-XY-200 全自動(dòng)Mapping膜厚分布測(cè)量系統(tǒng),可以測(cè)量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供厚度測(cè)量,達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性,矩形或線(xiàn)性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇,也可以創(chuàng)建自己編輯的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置,任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。