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勻膠旋涂儀 LaurellWS-650

面議 (具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn))
Laurell WS-650 美洲 美國 2026-04-14 12:16:07
售全國 入駐:2年 等級:銀牌 營業(yè)執(zhí)照已審核
同款產(chǎn)品:旋涂儀(1件)
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產(chǎn)品詳情:

在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上,旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會(huì)影響成膜厚度,旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。

 

 QQ圖片20250408152416.png

※ 樣品尺寸:φ3~300mm

※ 加速度:80000rpm/s(空載),30000rpm/s(負(fù)載:100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓)

※ 轉(zhuǎn)速:1~12000rpm,伺服電機(jī)分辨率4000P/rev

※ 旋轉(zhuǎn)方向:選配Hz型馬達(dá),旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)

※ CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù)

※ 可選自動(dòng)滴膠模塊,EBR晶圓去邊模塊

※ 多種托盤可選,適用各種材質(zhì)的樣品

 

托盤解決方案

﹢  常用真空托盤:10~150mm無需更換

﹢  嵌入式:托盤中部做成圓形凹槽,樣品可嵌入其中,以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)

﹢  蜂窩式:適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料

﹢  卡式托盤:適用于無法真空吸附的樣品,或者兩面都需要處理的樣品,因?yàn)楣潭〞r(shí)需要盡量減小與托盤的接觸面積,也可以使用卡式托盤,卡式托盤使用時(shí)轉(zhuǎn)速不宜過高

 

QQ截圖20250408152522.png



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