- 美國(guó)PVD資料庫
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美國(guó)PVD
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- 1995年，JamesA.Greer博士創(chuàng)立了PVD產(chǎn)品，開發(fā)和銷售大面積脈沖激光沉積系統(tǒng)。他以前在Raytheon研究部工作，Greer博士開發(fā)了能夠?qū)LD工藝規(guī)模擴(kuò)大到200mm的原型設(shè)備。當(dāng)時(shí)，格雷爾博士認(rèn)為研發(fā)市場(chǎng)需要這樣的工具，并讓雷神公司為研發(fā)制造各種基于物理氣相沉積（PVD）的工具。
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