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美國PVD

1995年,JamesA.Greer博士創(chuàng)立了PVD產(chǎn)品,開發(fā)和銷售大面積脈沖激光沉積系統(tǒng)。他以前在Raytheon研究部工作,Greer博士開發(fā)了能夠將PLD工藝規(guī)模擴大到200mm的原型設備。當時,格雷爾博士認為研發(fā)市場需要這樣的工具,并讓雷神公司為研發(fā)制造各種基于物理氣相沉積(PVD)的工具。
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