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擴(kuò)散泵

儀器網(wǎng)>知識(shí)百科>擴(kuò)散泵 更新時(shí)間：2026-04-14 14:33:16

擴(kuò)散泵百科

導(dǎo)讀
到目前為止，獲得高真空的zui為主要以及zui為普遍的工具之一，即為擴(kuò)散泵，一般指的是油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵為一種次級(jí)泵，其需要機(jī)械泵來被用作前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵為一種真空泵
目錄
1擴(kuò)散泵歷史 2擴(kuò)散泵原理 3擴(kuò)散泵主要問題 4擴(kuò)散泵預(yù)防方法 5擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu) 6擴(kuò)散泵操作規(guī)程

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