擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵工作原理

油擴(kuò)散泵是利用噴嘴中高速噴出的油蒸氣噴流的動(dòng)量來對(duì)氣體進(jìn)行輸運(yùn)的真空泵。其在此種意義上應(yīng)當(dāng)被叫做蒸氣噴流泵，但是發(fā)明人蓋卻對(duì)氣體向蒸氣流擴(kuò)散混入的過程進(jìn)行強(qiáng)調(diào)，而將其命名為擴(kuò)散泵，一直到現(xiàn)在都使用該名稱。使用水銀使蒸氣形成的，被稱為水銀擴(kuò)散泵，使用油使得蒸汽形成的被稱為油擴(kuò)散泵。由于水銀不能夠較為便利地進(jìn)行操作并且會(huì)有害于人體，如今已經(jīng)不太用了。

在真空中擴(kuò)散泵油鍋中的泵油加熱到大概兩百攝氏度的沸騰溫度，大量的油蒸氣由此產(chǎn)生。油蒸氣通過導(dǎo)流管經(jīng)過各級(jí)噴嘴定向高速噴出。因?yàn)閿U(kuò)散泵進(jìn)氣口周圍被抽氣體的分壓力比蒸氣流中該氣體的分壓力要高，因此被抽氣體分子就往蒸氣流中持續(xù)地進(jìn)行擴(kuò)散。油蒸氣向著被抽氣體分子撞擊，沿蒸氣流束的方向，被抽氣體分子高速地進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。