擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵系統(tǒng)：

該系統(tǒng)為上個(gè)世紀(jì)九十年代研發(fā)的新型的大口徑擴(kuò)散泵。在傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵上的改進(jìn)相當(dāng)重大。下述為其主要的特點(diǎn)：

1、有較大的抽速。每秒3000-50000升六種規(guī)格為抽速范圍。上凹槽位于泵壁，在凹槽內(nèi)臥著冷卻水管，使得接觸面積大大增加了，有著較好的冷卻效果。在2003年進(jìn)一步地改進(jìn)了擴(kuò)散泵。水冷夾層為水冷管所改。全不銹鋼材質(zhì)為擴(kuò)散泵的整體所改，從而使泵的性能指標(biāo)得到了進(jìn)一步的提高。

2、油蒸汽有著較低的返流率，外置水冷擋板不加，普通礦物油被使用。

3、抽氣曲線上，在入口壓力為1-e帕?xí)r，達(dá)到zui大的抽速，與此同時(shí)具有較為穩(wěn)定的抽速。

4、采用插入擴(kuò)散泵內(nèi)部的多支加熱棒加熱，有著較高的傳熱效率以及較短的預(yù)熱時(shí)間。

5、為了避免泵油過熱，過熱裝置被裝了起來。泵油的質(zhì)和量能夠利用觀察窗隨時(shí)進(jìn)行觀察。注油口和放油口被設(shè)置于泵上。在換油的時(shí)候，不需要從真空系統(tǒng)中拆下擴(kuò)散泵。zui大允許前級(jí)壓力高是60帕。