擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵，它需要機(jī)械泵作為前級泵。油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。

擴(kuò)散泵改進(jìn)措施

擴(kuò)散泵系統(tǒng)之所以壓強(qiáng)不穩(wěn)定，既有內(nèi)部原因也有外部原因。

內(nèi)部原因：

1、噴咀內(nèi)的液滴

2、蒸汽冷凝

3、鍋爐周圍泄漏，要對泵體進(jìn)行檢漏。

4.泵油不穩(wěn)定地沸騰或者爆沸

5、處于導(dǎo)流管外部的油的沸騰。

6、輕氣體壓縮比較低。

外部原因：

1、前級耐壓比較高。

2、阱除霜

3、阱內(nèi)冷凍層的破裂

4、來源于橡膠墊圈的氣泡。

5、由障板上滴落的泵油。

由于鍋爐內(nèi)泵油的沸騰不穩(wěn)定，從而導(dǎo)致噴出的蒸汽射流的密度發(fā)生波動，抽速和輕氣體壓縮比也因此會出現(xiàn)變動。鍋爐也許會一時偏熱，從而會造成有一段時間會爆沸，有翼片的鍋爐為油擴(kuò)散泵所采用，使內(nèi)表面積增加，使熱流密度降低，爆沸會由于功率的增加而消除或者減低到zui小，此為一種補(bǔ)救的方法。

在真空中，自爆升騰會因?yàn)閝iang力的爆沸所引起。對于噴咀，會導(dǎo)致瞬間堵塞，使汽流波動引起。將防爆板加到泵內(nèi)，能夠使爆沸的影響得以避免。由于對輕氣體有著較低的壓縮比，能夠使壓力的不穩(wěn)定引起。對功率和泵的級數(shù)進(jìn)行增加時有所幫助的。將側(cè)面出口噴射噴咀和擴(kuò)壓器設(shè)置在擴(kuò)散泵中，能夠降低擴(kuò)散泵的不穩(wěn)定性到zui小。頂噴咀帽偏冷會造成不連續(xù)的蒸汽流，造成壓力的不穩(wěn)定。將頂噴咀的溫度設(shè)法保持住，使得其不過冷。