將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機。溶膠的黏度以及勻膠機的轉(zhuǎn)速對于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

勻膠機選購

就勻膠機原理而言，能夠看出勻膠機的選購需要注意以下三個方面：

材質(zhì)的選擇

材質(zhì)的選擇對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用而言特別關(guān)鍵，不銹鋼或者普通塑料為大多數(shù)勻膠機所采用的材質(zhì)，由于該種材質(zhì)具有非常低廉的成本，在較高溫度和壓力下，塑料比較容易變形，不銹鋼難以耐受各類化工膠液的腐蝕若變形導(dǎo)致托盤的位置失去水平，旋涂時時高時低的顛簸狀態(tài)將會被引起。好的旋涂效果自然不能夠得到。而天然聚丙烯或者聚四氟乙烯材質(zhì)就有較大的強度以及較好的抗沖擊性，具有較好的光澤度以及較輕的重量，花紋自然，堅固耐用，綠色環(huán)保，節(jié)約資源。

旋轉(zhuǎn)速度

旋涂層的厚度控制和膜層均勻性與轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度有著較為直接的關(guān)系。若標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速有著非常大的誤差，對于要求精密涂覆的科研人員而言，準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)將無法獲得。國產(chǎn)的某些勻膠機僅僅可以提供轉(zhuǎn)速范圍，卻不可以對實時的轉(zhuǎn)速進行精確標(biāo)定。盡管進口的勻膠機大多數(shù)可以對轉(zhuǎn)速進行標(biāo)定，然而大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標(biāo)準(zhǔn)認定。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。由于任何的油污均可能導(dǎo)致真空管道堵塞。若降低真空吸附力，會造成吸附不住基片從而使“飛片”產(chǎn)生的情況，還可能使得真空管道系統(tǒng)不慎進入滴膠液從而導(dǎo)致完全堵塞。