將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地涂覆的設(shè)備，被叫做勻膠機(jī)。溶膠的黏度以及勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速對于膜的厚度起到?jīng)Q定性作用。

勻膠機(jī)為使用旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)的設(shè)備。勻膠機(jī)具有非常多種類的稱謂。Spin Processor或者Spin Coater為勻膠機(jī)的英文名字，又被叫做勻膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、勻膠臺以及甩膠機(jī)，總而言之，它們具有相同的原理，也就是將各類膠液滴注于高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴在基片上的膠液通過離心力在基片上均勻地進(jìn)行涂覆，膠液和基片間的粘滯系數(shù)不一樣，厚度也會存在差異，旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間也會對厚度產(chǎn)生影響。

勻膠機(jī)特點(diǎn)

就原理而言，勻膠機(jī)有如下兩個(gè)特點(diǎn)

1、真空吸附系統(tǒng)

無油泵通常為真空泵所采用，也就是一般所說的干泵，由于真空管道有被任何的油污堵塞的可能性，若真空吸附力降低，會引起基片吸附不住而使得“飛片”產(chǎn)生的情況，還會使得滴的膠液不慎往真空管道系統(tǒng)進(jìn)入導(dǎo)致完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，如果沒有足夠的真空吸附力，那么轉(zhuǎn)動就不會開始。如此滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)的情況就能夠得到有效的避免。

2、旋轉(zhuǎn)速度

旋涂層的厚度控制和膜層均勻性取決于轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度，若標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速具有較大的誤差，那么對于要求精密涂覆的科研人員而言，就不能獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。