透射電鏡的圖像襯度是指熒光屏或照相底板上圖像的明暗程度。又叫黑白反差,或叫對比度。由于圖像上不同區(qū)域襯度的差別,才使得材料微觀組織分析成為可能。只有了解圖像襯度的形成機制,才能對各種圖像給予正確解釋。
透射電鏡襯度是圖象上不同區(qū)域間明暗程度的差別。由于圖像上不同區(qū)域間存在明暗程度的差別即襯度的存在,才使得我們能觀察到各種具體的圖像。只有了解像襯度的形成機理,才能對各種具體的圖像給予正確解釋,這是進行材料電子顯微分析的前提。

1、非晶樣品的象襯度
非晶樣品透射電鏡圖象襯度是由于樣品不同微區(qū)間存在的原子序數(shù)或厚度的差異而形成的,即質(zhì)量厚度襯度(質(zhì)量厚度定義為試樣下表面單位面積以上柱體中的質(zhì)量),也叫質(zhì)厚襯度。透射電鏡質(zhì)厚襯度適用于對復型膜試樣電子圖象作出解釋。質(zhì)量厚度數(shù)值較大的,對電子的吸收散射作用強,使電子散射到光欄以外的要多,對應較安的襯度。質(zhì)量厚度數(shù)值小的,對應較亮的襯度。
2、晶體樣品的衍射襯度
對于晶體薄膜樣品而言,厚度大致均勻,原子序數(shù)也無差別,因此,不可能利用質(zhì)厚襯度來獲得圖象反差,這樣,晶體薄膜樣品成像是利用衍射襯度成像,簡稱“衍射襯度”。由樣品各處衍射束強度的差異形成的襯度稱為衍射襯度?;蚴怯赏干潆婄R樣品各處滿足布拉格條件程度的差異造成的。
設薄膜有A、B兩晶粒。B晶粒內(nèi)的某(hkl)晶面嚴格滿足Bragg條件,或B晶粒內(nèi)滿足“雙光束條件”,則通過(hkl)衍射使入射強度I0分解為Ihkl和I0-Ihkl兩部分。A晶粒內(nèi)所有晶面與Bragg角相差較大,不能產(chǎn)生衍射。
在物鏡背焦面上的物鏡光闌,將衍射束擋掉,只讓透射束通過光闌孔進行成像,此時,像平面上A和B晶粒的光強度或亮度不同,分別為IA≈I0,IB≈I0-Ihkl。
3、相位襯度
如果所用透射電鏡試樣厚度小于100nm,甚至30nm。它是讓多束衍射光束穿過物鏡光闌彼此相干成象,象的可分辨細節(jié)取決于入射波被試樣散射引起的相位變化和物鏡球差、散焦引起的附加相位差的選擇。它追求的是試樣小原子及其排列狀態(tài)的直接顯示。
薄晶成象的情形:一束單色平行的電子波射入試樣內(nèi),與試樣內(nèi)原子相互作用,發(fā)生振幅和相位變化。當其逸出試樣下表面時,成為不同于原入射波的透射波和各級衍射波。由于試樣很薄,衍射波振幅甚小,透射波振幅基本上與入射波振幅相同,非彈性散射可忽略不計。衍射波與透射波間的相位差為π/2。如果物鏡沒有象差,且處于正焦狀態(tài),而光闌也足夠大,使透射波與衍射波得以同時穿過光闌相干。相干結(jié)果產(chǎn)生的合成波其振幅與入射波相同,只是相位位置稍許不同。由于振幅沒變,因而強度不變,所以沒有襯度。要想產(chǎn)生襯度,必須引入一個附加相位,使所產(chǎn)生的衍射波與透射波處于相等的或相反的相位位置,也就是說,讓衍射波沿圖X軸向右或向左移動π/2,這樣,透射波與衍射波相干就會導致振幅增加或減少,從而使象強度發(fā)生變化,相位襯度得到了顯示。
綜上所述,透射電鏡三種襯度的不同形成機制,反映了電子束與試樣物質(zhì)原子交互作用后離開下表面的電子波,通過物鏡以后,經(jīng)人為地選擇不同操作方式所經(jīng)歷的不同成像過程。在研究工作中,它們相輔相成,互為補充,在不同層次上,為人們提供不同尺寸的結(jié)構(gòu)信息,而不是互相排斥。

4、位錯線襯度產(chǎn)生及其特征
由于位錯的存在,在位錯線附近的某個范圍內(nèi)點陣將發(fā)生畸變,其應力和應變場的性質(zhì)均與b直接有關(guān)。不管何種類型的位錯,都會引起在它附近的某些晶面發(fā)生一定程度的局部轉(zhuǎn)動,位錯線兩邊晶面轉(zhuǎn)動方向相反。且離位錯線愈遠,轉(zhuǎn)動量愈小,如果采用這些畸變的晶面作為操作反射,則衍射強度將受到影響,從而產(chǎn)生襯度。
透射電鏡成像襯度是一個關(guān)鍵問題,所謂襯度,即是像面上相鄰部份間的黑白對比度或顏色差,人眼對于0.02mm以下的亮度差別是很難判定的,對顏色差別則稍微敏感一些。透射電鏡觀察對象,如生物標本,其細節(jié)間亮度差別甚小,加之透射電鏡系統(tǒng)設計制造誤差使其成像襯度進一步降低而難于分辨,此時,看不清物體細節(jié),不是總放大倍率過低,也不是物鏡數(shù)值孔徑太小,而是由于像面襯度太低的緣故。所以根據(jù)透射電鏡與樣品襯度之間的關(guān)系來觀測樣品微結(jié)構(gòu)顯得尤為重要。
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