電鏡是電子顯微鏡的簡(jiǎn)稱,英文簡(jiǎn)稱為EM,常用于分子和原子形態(tài),有機(jī)復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)形態(tài)研究等,是現(xiàn)代技術(shù)不可缺少的重要工具。掃描電鏡和透射電鏡是電鏡中常用的儀器設(shè)備,掃描電鏡即掃描電子顯微鏡,英文簡(jiǎn)稱SEM,一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。透射電鏡即透射電子顯微鏡,英文簡(jiǎn)稱為TEM,把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來。
兩者作為材料表征上常用的儀器設(shè)備,之間有何區(qū)別?
掃描電鏡和透射電鏡的區(qū)別
1、掃描電鏡(SEM)通常使用15kV以上的加速電壓,而透射電鏡(TEM)可以將其設(shè)置在60-300kV的范圍內(nèi)。
2、掃描電鏡的電子束不穿過樣品,僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方,然后一行一行地掃描樣本,獲得圖像為立體圖像,反映標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu),掃描電鏡標(biāo)本無需制成薄片;透射電鏡由于電子需要穿過樣本,因此樣本必須非常薄。
3、一般情況下,透射電鏡放大倍數(shù)更大,真空要求也更高。
4、掃描電鏡(SEM)提供樣品表面的3D圖像,而透射電鏡(TEM)圖像是樣品的2D投影。
5、透射電鏡放大倍數(shù)要高于掃描電鏡倍數(shù)。
6、電子類型不同,掃描電鏡的電子類型是散射電子,透射電鏡的電子類型是透射電子。
7、掃描電鏡的景深要高于透射電鏡。
8、掃描電鏡樣品制備比透射電鏡的工序簡(jiǎn)單。
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