ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，可以用于物質(zhì)試樣中一個(gè)或者多個(gè)元素的定性、半定量和定量分析;能測(cè)定周期表中90%的元素，特別是對(duì)金屬元素分析擅長(zhǎng)。

ICP-MS的維護(hù)方法

　　霧化器的維護(hù)：

　　1、由于ICP-MS霧化器ZX的毛細(xì)管口徑非常小，要求樣品要溶解的徹底，不得含有沉淀或漂浮物，如果有少量沉淀要用濾膜進(jìn)行過(guò)濾，否則容易堵塞霧化器。

　　2、在用普通進(jìn)樣系統(tǒng)時(shí)，不得含有HF或氟化物，否則容易損壞矩管和霧化器，如果需要分析此類(lèi)樣品。需更換耐HF進(jìn)樣系統(tǒng)。

　　霧化室和蠕動(dòng)泵的維護(hù)：

　　1、ICP-MS霧化室一般很少出現(xiàn)問(wèn)題，基本屬于免維護(hù)部件。

　　2、ICP-MS蠕動(dòng)泵部分主要是泵管長(zhǎng)期受到擠壓和磨損容易消耗，所以當(dāng)上機(jī)結(jié)束后要將泵夾松開(kāi)以延長(zhǎng)泵管的使用壽命。

　　矩管的維護(hù)：

　　1、矩管是ICP-MS中比較容易積碳和積鹽的位置，如果發(fā)生堵塞，可以將堵塞部位浸入濃硝酸中煮沸。

　　2、如果矩管的氣體連接管周?chē)優(yōu)辄S褐色，這主要是有機(jī)物沉淀(氣體管路中的增塑劑在高溫下流失)，對(duì)ICP-MS性能沒(méi)有影響?？梢詫⒕毓芊湃腭R弗爐中500℃烘烤幾小時(shí)，以去除這些褐色沉淀物。

　　雙錐的維護(hù)：

　　1、采樣錐和截取錐的清洗shou選用棉棒蘸超純水輕輕擦拭錐的正反兩面，再用超純水沖凈后晾干使用。注意清洗時(shí)控制力度，不能破壞錐孔。

　　2、洗凈后檢查錐孔的形狀和大小，觀察圓形錐孔是否變形、是否光滑，同時(shí)注意錐孔尺寸大小，如果采樣錐孔徑超過(guò)1mm，截取錐孔徑超過(guò)0.4mm，則需要更換相應(yīng)的錐。

　　冷卻水系統(tǒng)的維護(hù)：

　　1、定期更換冷卻水，約每半年更換一次，同時(shí)滴加YJ劑。

　　2、每年檢查一次水接頭，防止漏水，必要時(shí)及時(shí)更換。

　　3、定期清理水循環(huán)的散熱器，三年左右檢查制冷量。

　　機(jī)械泵的維護(hù)：

　　每個(gè)月都應(yīng)該檢查機(jī)械泵油，以保證泵油液面處于Zda、Z小刻度線之間，而且泵油顏色正常、潔凈。如果泵油臟了，需要及時(shí)更換以保證ICP-MS始終能維持良好的真空狀態(tài)。

　　氣路系統(tǒng)的維護(hù)：

　　1、定期檢查外ICP-MS氣路，看是否有漏氣。

　　2、定期檢查內(nèi)氣路，看是否有漏氣。

　　3、注意養(yǎng)成良好的用氣習(xí)慣：開(kāi)機(jī)前要確認(rèn)氣瓶的壓力是否在正常范圍內(nèi)，一般為0.6-0.8MPa。增壓閥當(dāng)上機(jī)結(jié)束后要及時(shí)關(guān)閉，以免造成泄壓。

ICP-MS使用環(huán)境要求

　　ICP-MS與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環(huán)境下運(yùn)行，失去這些條件，不僅ICP-MS的使用效果不好，而且改變ICP-MS的檢測(cè)性能，甚至造成損壞，縮短壽命。

　　根據(jù)ICP-MS的特點(diǎn)，對(duì)環(huán)境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學(xué)元件受溫度變化的影響就會(huì)產(chǎn)生譜線漂移，造成測(cè)定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75℃間的一個(gè)固定溫度，溫度變化應(yīng)小于±1℃。而環(huán)境濕度過(guò)大，光學(xué)元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對(duì)高頻發(fā)生器的影響也十分重要，濕度過(guò)大，輕則等離子體不容易點(diǎn)燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡(luò)中的可變電容放電等，以至損壞高頻發(fā)生器。一般ICP-MS室內(nèi)濕度應(yīng)小于70%，Z好控制在45～60%之間，應(yīng)有空氣凈化裝置。