ICP-MS采用電感禍合等離子體作為激發(fā)光源，具有檢出限低、測量動態(tài)范圍寬、精密度高、準(zhǔn)確度好等優(yōu)點，現(xiàn)已在環(huán)境檢測、生物醫(yī)藥、地質(zhì)、金屬等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

ICP-MS常見故障一

　　故障現(xiàn)象：

　　ICP-MS點火過程中，屏蔽罩可順利到達(dá)點火線圈內(nèi)的設(shè)定位置，相應(yīng)的狀態(tài)指示燈可點亮，但不能正常退回起始位置，因此導(dǎo)致點火失敗。

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　　檢修方法：

　　首先用手輕推、反拉固定屏蔽罩的支板，看屏蔽罩能否活動，判斷是不是因炬管安裝位置不居中導(dǎo)致屏蔽罩被點火線圈卡住，根據(jù)需要調(diào)整炬管位置。

　　若故障仍存在;手動慢速調(diào)節(jié)移動控制系統(tǒng)中進(jìn)氣閥及排氣閥的流量，使屏蔽罩在接通、斷開電磁閥Y5(控制屏蔽罩的氣路)時能以正常速度進(jìn)出，并反復(fù)點擊所用軟件(PLASMALAB)中“control”界面下“plasma screen”按鈕，看屏蔽罩能否退出，同時觀看PLC控制器上的Y25對應(yīng)指示燈的工作情況，正常情況下，當(dāng)屏蔽罩被推進(jìn)點火線圈內(nèi)時，Y25燈點亮，屏蔽罩退回起始位置后，Y25燈熄滅。

　　若反復(fù)點擊“plasma screen”按鈕，Y25燈及屏蔽罩均無反應(yīng)，進(jìn)而查看PCBI/F1上PL8插座處的聯(lián)接情況，保證可靠接觸，再次執(zhí)行上步操作，若Y25燈及屏蔽罩能正常作出響應(yīng)，確認(rèn)故障點在PL8插座處。通過上述方法試檢，ICP-MS一般可修復(fù)正常。

ICP-MS常見故障二

　　故障現(xiàn)象：

　　ICP-MS的輸出結(jié)果穩(wěn)定性極差，位于后面板處的PID溫度調(diào)節(jié)儀顯示值上跳不恒定。

　　檢修方法：

　　關(guān)斷ICP-MS電源，打開右上封蓋，卸下炬箱的前面板，可看到起冷卻、恒溫霧化器作用的半導(dǎo)體部件位于霧化器后部的一個深灰色傳感器(前端為白色)插在半導(dǎo)體部件的插孔中，二者間隙充滿了導(dǎo)熱硅脂。ICP-MS經(jīng)過長期使用后，導(dǎo)熱硅脂的傳熱性及密封性能下降。半導(dǎo)體的位置緊貼工作溫度較高的炬箱，因此，當(dāng)導(dǎo)熱硅脂性能下降時，溫度傳感器不能及時跟蹤反映半導(dǎo)體的溫度變化，且極易受周圍環(huán)境的熱影響，導(dǎo)致測量值不穩(wěn)定，閉環(huán)控溫系統(tǒng)的PID溫度調(diào)節(jié)儀出現(xiàn)上跳不恒定的故障提示現(xiàn)象。

　　更換導(dǎo)熱硅脂的步驟和注意事項如下:先用酒精將原用導(dǎo)熱硅脂徹底清理干凈并涼干;用新導(dǎo)熱硅脂填滿傳感器的插孔，小心將傳感器安裝到位，并仔細(xì)檢查所在溫控系統(tǒng)中轉(zhuǎn)接插座的可靠狀況。開啟ICP-MS，觀察溫控系統(tǒng)工作情況，一般可恢復(fù)正常。

ICP-MS常見故障三

　　故障現(xiàn)象：

　　ICP-MS點不著火或者點火時而正常時而失敗。

　　檢修方法：

　　氣路故障:首先確認(rèn)所用氫氣指標(biāo)是否滿足使用要求，如氫氣純度不夠，將導(dǎo)致點火困難且ICP-MS的穩(wěn)定性不好;接著檢查氣路通道的密閉性，常用肥皂水ZD檢查各接頭處及電磁閥本身、1循環(huán)水系統(tǒng)故障:檢查循環(huán)水機內(nèi)的水量，保證該指標(biāo)在允許范圍之內(nèi)，檢查循環(huán)水機上壓力表的)示值，根據(jù)需要調(diào)整在適用的指標(biāo)上;檢查水路中是否有氣泡存在，如發(fā)現(xiàn)有氣泡，應(yīng)將其排空。

　　電子電路故障:首先檢查套接在炬管上的點火頭是否安裝到位。正常情況下，ICP-MS點火過程中應(yīng)有放電火花產(chǎn)生，此高能火花結(jié)合三匝禍合線圈形成的高頻電磁場電離氫氣形成等離子體。如果點火頭未按要求安裝到位，直接造成點火困難或根本點不著火;在點火過程中，點火瞬間留心觀察Instrament界面下ReflectPower(反射功率)值，正常情況為200瓦-400瓦，否則說明RF發(fā)生器輸出不正常;點火前，觀察自動調(diào)協(xié)電容的數(shù)值，初始值應(yīng)在500~510間，否則應(yīng)手動調(diào)整其旁邊一旋鈕，使電容示值回到500左右。

ICP-MS常見故障四

　　故障現(xiàn)象：

　　ICP-MS點著火后，不久又自動熄滅。

　　檢修方法：

　　首先檢查ICP-MS所用的抽風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)量是否滿足需求，若風(fēng)量較小，高能等離子體產(chǎn)生的輻射熱不能有效交換，炬箱周圍溫度升高到一定程度，ICP-MS會出現(xiàn)保護(hù)性熄火現(xiàn)象。這時應(yīng)及時檢修通風(fēng)系統(tǒng);查看水循環(huán)是否正常，若水流量不足，導(dǎo)致三匝線圈或半導(dǎo)體冷卻不充分，相應(yīng)的溫度檢測控制單元將及時向ICP-MS的主控器發(fā)出請求，中止RF發(fā)生器工作，ICP-MS自動熄火。

　　另外，當(dāng)RF發(fā)生器內(nèi)兩個冷卻電扇的保險絲接觸不良或熔斷時，對應(yīng)電扇不能啟動，RF發(fā)生器工作一段時間便發(fā)熱嚴(yán)重，ICP-MS出現(xiàn)保護(hù)性熄火現(xiàn)象。這種情況應(yīng)請電器工程師檢修。