化學(xué)氣相沉積為一種化工技術(shù)，在襯底表面上含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)進行化學(xué)反應(yīng)使得薄膜生成為該技術(shù)的主要方法。近幾十年化學(xué)氣相淀積這種對無機材料進行制備的新技術(shù)發(fā)展了起來?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)在各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料的淀積，新晶體的研制以及物質(zhì)的提純方便得到了非常廣泛地應(yīng)用。這些材料既能夠是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能夠為III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，并且能夠利用氣相摻雜的淀積過程來對它們的物理功能進行精確地控制。化學(xué)氣相淀積已經(jīng)變成無機合成化學(xué)的一個新領(lǐng)域。

氣相沉積原理：

化學(xué)氣相沉積技術(shù)為通過氣態(tài)物質(zhì)在固體上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和傳輸反應(yīng)等并且使固態(tài)沉積物產(chǎn)生的一種工藝。其大體上包括以下三步：

1、使揮發(fā)性物質(zhì)形成

2、往沉積區(qū)域轉(zhuǎn)移上述揮發(fā)性物質(zhì)

3、在固體上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并且使固態(tài)物質(zhì)產(chǎn)生

熱分解反應(yīng)、化學(xué)合成反應(yīng)以及化學(xué)傳輸反應(yīng)等為zui基本的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)。

氣相沉積應(yīng)用：

晶須的生產(chǎn)

晶須屬于一種已經(jīng)發(fā)育的單晶體，它在符合材料范疇中的作用相當(dāng)?shù)拇?，可以被用來對于一些新型?fù)合材料進行生產(chǎn)。在生產(chǎn)晶須時，金屬鹵化物的氫還原性質(zhì)為化學(xué)氣相沉積法所使用。化學(xué)氣相沉積法除了可以將各類金屬晶須制備出來，而且還可以將如氧化鋁、金剛砂、碳化鈦晶須等等化合物晶須生產(chǎn)出來。