化學氣相沉積為一種化工技術(shù)，在襯底表面上含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)進行化學反應使得薄膜生成為該技術(shù)的主要方法。近幾十年化學氣相淀積這種對無機材料進行制備的新技術(shù)發(fā)展了起來?；瘜W氣相淀積法已經(jīng)在各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料的淀積，新晶體的研制以及物質(zhì)的提純方便得到了非常廣泛地應用。這些材料既能夠是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能夠為III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，并且能夠利用氣相摻雜的淀積過程來對它們的物理功能進行精確地控制?；瘜W氣相淀積已經(jīng)變成無機合成化學的一個新領域。

氣相沉積技術(shù)類型

反應器為化學氣相沉積裝置zui為主要的元件。我們能夠?qū)⒒瘜W氣相沉積技術(shù)根據(jù)反應器結(jié)構(gòu)上的差異分成開管氣流法以及封管氣流法兩種類型。

1、開管氣流法

可以隨時補充反應氣體混合物為該種制備方法的特點。也能夠及時將廢氣排出反應裝置。通過加熱方法來區(qū)分，開管氣流法應當包括熱壁以及冷壁兩種。整個沉積室壁會因為前者的加熱而均會變熱，因此沉積也同樣會發(fā)生在管壁上。后者僅僅會加熱機體自身，上述缺點也就沒有。感應加熱、通電加熱以及紅外加熱等等通常會被冷壁式加熱所使用。

2、封管氣流法

該種方式為在反應器的兩邊放置一定量的反應物質(zhì)和集體。抽真空反應器，之后再將部分輸運氣體往其中注入，之后再次密封，然后再對反應器兩端的溫度進行控制使其具有一定的差別，

封管氣流法優(yōu)點：

（1）外部污染可以有效地加以防止。

（2）不需要持續(xù)抽氣就可以使得內(nèi)部保持真空。

封管氣流法缺點：

（1）材料有著較慢的產(chǎn)生速度。

（2）掌握管中的壓力較為困難。