化學(xué)氣相沉積為一種化工技術(shù)，在襯底表面上含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)使得薄膜生成為該技術(shù)的主要方法。近幾十年化學(xué)氣相淀積這種對無機(jī)材料進(jìn)行制備的新技術(shù)發(fā)展了起來?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)在各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機(jī)薄膜材料的淀積，新晶體的研制以及物質(zhì)的提純方便得到了非常廣泛地應(yīng)用。這些材料既能夠是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能夠為III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，并且能夠利用氣相摻雜的淀積過程來對它們的物理功能進(jìn)行精確地控制。化學(xué)氣相淀積已經(jīng)變成無機(jī)合成化學(xué)的一個新領(lǐng)域。

氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用

鈀的化學(xué)氣相沉積

對于氫氣而言，鈀及其合金的吸附作用非常強(qiáng)以及選擇滲透性能十分特別，為一種理想的氫氣存儲或者凈化材料。采用鈀合金或是鈀鍍層來對氫凈化設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)為鈀的大部分用途。亦有些學(xué)者通過化學(xué)氣相沉積法將鈀制成薄膜或薄層。以下為具體的做法，鈀的制備材料一般采用包括烯丙基[β-酮亞胺]鈀（Ⅱ）、鈀（η-C3H5） （η-C5H5）以及 鈀（η-C3H5）（CF3COCHCOCF3）之類的有著非常低的分解溫度的金屬有機(jī)化合物。采用該種方式可以將非常高純度的鈀薄膜制取出來。

對于材料的制備，化學(xué)氣相沉積技術(shù)為一種相當(dāng)重要的方式。在對貴金屬薄膜和涂層上的作用也相當(dāng)?shù)闹匾?。?dāng)前在航空航天領(lǐng)域我國依然處于發(fā)展期，并且化學(xué)氣相沉積技術(shù)的使用的 探索空間也相當(dāng)?shù)拇?，該種技術(shù)的研究依然需要投入更多的精力來進(jìn)行。